[发明专利]异物的除去方法以及异物的除去装置

权利要求书

1.一种异物的除去方法，该方法中，

通过在搬运片材的搬运用支撑体A1与搬运用支撑体A2之间隔着上述片材而对置设置的吸入箱B1以及吸入箱B2来抽吸异物，将附着于片材的异物除去，

上述异物的除去方法的特征在于，

来自上述吸入箱B1以及B2的开口部的抽吸风的抽吸平均风速为0.8～1.2m/秒。

2.根据权利要求1所述的异物的除去方法，其特征在于，

在通过上述吸入箱B1以及吸入箱B2抽吸异物之前，包括上述片材的切断工序。

3.根据权利要求1或2所述的异物的除去方法，其特征在于，

利用从上述吸入箱B1、B2内的空气喷嘴喷出的空气来使异物从片材上剥离。

4.根据权利要求3所述的异物的除去方法，其特征在于，

上述搬运用支撑体A1与上述搬运用支撑体A2的设置间隔R满足下述式(1)：

R≤320×(E×t²/d)^0.25－80 (1)

R：搬运用支撑体A1与搬运用支撑体A2的设置间隔(mm)，

E：片材的杨氏模量(GPa)，

t：片材的厚度(mm)，

d：片材的密度(g/cm³)。

5.根据权利要求3或4所述的异物的除去方法，其特征在于，

从上述空气喷嘴喷出的空气的压力为2～60kPa。

6.根据权利要求1～5任一项中所述的异物的除去方法，其特征在于，

根据下述式(2)而计算出的上述吸入箱B1以及B2的抽吸风的抽吸平均风速之差Δv为5.0以下，

Δv＝(|V1－V2|/Va)×100 (2)

V1：吸入箱B1的抽吸平均风速，

V2：吸入箱B2的抽吸平均风速，

Va：吸入箱B1、B2的抽吸平均风速的平均值。

7.根据权利要求3～5任一项中所述的异物的除去方法，其特征在于，

从上述空气喷嘴喷出的空气的喷出方向与片材表面的垂直方向所成的角度θ1为0～40°。

8.根据权利要求5所述的异物的除去方法，其特征在于，

从上述空气喷嘴喷出的空气的压力为3～30kPa。

9.根据权利要求7所述的异物的除去方法，其特征在于，

上述角度θ1为5°～25°。

10.根据权利要求7或9所述的异物的除去方法，其特征在于，

上述片材的搬运方向与将从空气喷嘴喷出的空气的喷出方向投影于片材表面的喷出方向所成的角度θ2为0°～5°。

11.根据权利要求1～10任一项中所述的异物的除去方法，其特征在于，

上述片材以未被捆绑的状态在上述搬运用支撑体上行进。

12.根据权利要求1～11任一项中所述的异物的除去方法，其特征在于，

上述片材的杨氏模量为1.4～15.2GPa。

13.根据权利要求1～12任一项中所述的异物的除去方法，其特征在于，

上述片材的厚度为0.5～15mm。

14.一种异物的除去装置，具有：搬运片材的搬运用支撑体A1和搬运用支撑体A2；以及在上述搬运用支撑体A1以及A2之间隔着上述片材而对置设置的吸入箱B1以及吸入箱B2，上述异物的除去装置将附着于片材的异物除去，其特征在于，

上述搬运用支撑体A1与上述搬运用支撑体A2的设置间隔R满足下述式(1)，并且在上述吸入箱B1以及上述吸入箱B2内具备空气喷嘴，

R≤320×(E×t²/d)^0.25－80 (1)

R：搬运用支撑体A1与搬运用支撑体A2的设置间隔(mm)，

E：片材的杨氏模量(GPa)，

t：片材的厚度(mm)，

d：片材的密度(g/cm³)。

15.根据权利要求14所述的异物的除去装置，其特征在于，

上述空气喷嘴的方向与垂直于片材表面的方向所成的角度θ1为0°～40°。