[发明专利]固态摄像元件、固态摄像元件的制造方法和电子装置有效

专利信息
申请号: 201580057669.7 申请日: 2015-10-22
公开(公告)号: CN107078147B 公开(公告)日: 2021-04-20
发明(设计)人: 兼田有希央 申请(专利权)人: 索尼半导体解决方案公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146;H04N5/369
代理公司: 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 代理人: 曹正建;陈桂香
地址: 日本神*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 固态 摄像 元件 制造 方法 电子 装置
【权利要求书】:

1.一种固态摄像元件,其包括:

第一像素,其包括由光电转换膜以及上下夹持所述光电转换膜的第一电极和第二电极形成的光电转换单元,其中,所述第一电极和所述第二电极中的至少一者针对每个像素分离;

第二像素,其包括所述光电转换单元和分离电极,其中,所述分离电极针对每个像素分离并形成为具有比所述第一像素的所述第二电极的平面尺寸更小的平面尺寸;以及

第三像素,其与所述第二像素相邻并包括至少延伸至所述第三像素的边界的第三电极,所述第三电极还形成在所述第二像素的由于更小的平面尺寸而空出的区域中。

2.如权利要求1所述的固态摄像元件,其中,所述第三电极连接到用于保持由所述光电转换单元生成的电荷的电荷保持单元。

3.如权利要求1所述的固态摄像元件,其中,所述第三电极是所述第三像素的分离电极。

4.如权利要求1所述的固态摄像元件,其中,所述第三电极跨越包括所述第一像素、所述第二像素及所述第三像素的三个像素。

5.如权利要求1所述的固态摄像元件,其中,所述第三电极连接到用于提供固定电位的配线。

6.如权利要求1所述的固态摄像元件,其中,所述第三电极是形成在所述第一像素和所述第二像素之间的元件分离电极。

7.如权利要求1所述的固态摄像元件,其中,所述第三电极是不与配线连接的隔离图案。

8.如权利要求1-7中任一项所述的固态摄像元件,其中,所述第二像素是用于生成焦点检测用信号的相位差像素。

9.如权利要求1-7中任一项所述的固态摄像元件,其中,所述光电转换膜是对预定颜色的波长的光进行光电转换的膜。

10.如权利要求9所述的固态摄像元件,其中,所述光电转换膜是对绿色波长光进行光电转换的膜。

11.如权利要求1-7中任一项所述的固态摄像元件,其中,

所述第二像素在半导体基板中还设置有无机光电转换单元,且

所述无机光电转换单元对未受到所述光电转换单元的光电转换的波长的光进行光电转换。

12.如权利要求1-7中任一项所述的固态摄像元件,其中,所述光电转换膜是能够对红色波长光、绿色波长光和蓝色波长光进行光电转换的膜。

13.如权利要求12所述的固态摄像元件,其中,

在所述光电转换膜上方布置有红色、绿色或蓝色的滤色器,且

所述光电转换膜对穿过所述滤色器的光进行光电转换。

14.一种制造固态摄像元件的方法,其包括:

形成第一像素、第二像素和第三像素,所述第一像素包括由光电转换膜以及上下夹持所述光电转换膜的第一电极和第二电极形成的光电转换单元,其中,所述第一电极和所述第二电极中的至少一者针对每个像素分离,且所述第二像素包括所述光电转换单元和分离电极,其中,所述分离电极针对每个像素分离并形成为具有比所述第一像素的所述第二电极的平面尺寸更小的平面尺寸,所述第三像素,其与所述第二像素相邻并包括至少延伸至所述第三像素的边界的第三电极,所述第三电极还形成在所述第二像素的由于更小的平面尺寸而空出的区域中。

15.一种包括如权利要求1-13中任一项所述的固态摄像元件的电子装置。

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