[发明专利]热式空气流量计

说明书

技术领域

本发明涉及计测被测定气体的流量的流量计，特别涉及计测内燃机的吸入空气量的热式空气流量计。

背景技术

计测气体流量的热式空气流量计，具备用于计测流量的流量检测部，通过在上述流量检测部与计测对象即气体之间进行导热，而计测气体的流量。热式空气流量计计测的流量，在各种装置中被广泛用作重要的控制参数。热式空气流量计的特征是与其他方式的流量计相比能够以相对较高的精度计测气体流量、例如质量流率。

但是，要求气体流量的计测精度的进一步提高。例如，搭载内燃机的车辆中，节省燃耗的要求和净化废气的要求非常高。为了满足这些要求，要求高精度地计测作为内燃机的主要参数的吸入空气量。计测导向内燃机的吸入空气量的热式空气流量计，具备导入吸入空气量的一部分的副通路和在上述副通路中配置的流量检测部，上述流量检测部与被计测气体之间进行导热，由此计测流过上述副通路的被计测气体的状态，输出表示导向上述内燃机的吸入空气量的电信号。这样的技术例如在日本特开2011-252796号公报(专利文献1)中公开。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2011-252796号公报

发明内容

发明要解决的课题

专利文献1中记载的技术中，预先用树脂制造具备形成了用于嵌入流量检测部的孔的副通路的壳体，独立于该壳体制造具备流量检测部的传感器组件，接着在上述副通路的孔中插入了上述流量检测部的状态下，将上述传感器组件固定在壳体上。在上述副通路的孔与流量检测部之间的间隙、以及传感器组件对壳体的嵌入部分的间隙中，填充有弹性粘合剂，用粘合剂的弹力吸收彼此的线性膨胀系数差。

但是，这样的结构中，将包括流量检测部的传感器组件固定至包括副通路的壳体时的位置误差增大。即，存在传感器组件和在壳体中设置的副通路的位置和角度，因粘合剂的状态等而简单地变化的课题。所以，现有的热式空气流量计中，难以进一步提高流量的检测精度。

为了使流量检测部对于副通路正确地定位。在形成壳体的同时将包括流量检测部的传感器组件固定是有效的。但是，该情况下，因部件之间的线性膨胀系数而在LSI内的电阻中产生的热应力与使用粘合剂的情况相比更高，进而，因电子部件的发热，温度修正的精度降低，因此存在测定精度降低这样的课题。

本发明的目的在于提供一种计测精度高的热式空气流量计。

用于解决课题的技术方案

为了达成上述目的，本发明的热式空气流量计例如由以下结构组成，包括：导入被计测流体的一部分的副通路；配置在所述副通路中，计测所述被计测流体的流量的传感器芯片；将所述传感器芯片检测出的流体流量变换为电信号的、内部具有电阻体的电子部件；和搭载所述传感器芯片和所述电子部件的基板；所述基板的搭载所述电子部件一侧的面被填充材料覆盖。

发明效果

根据本发明，能够提供一种计测精度高的热式空气流量计。

附图说明

图1是本申请的第一实施例中的传感器组件的平面图。

图2是本申请的第一实施例中的热式空气流量计的平面图。

图3是本申请的第一实施例中的填充材料密封后的热式空气流量计的平面图。

图4是本申请的第一实施例中的填充材料密封后的热式空气流量计的C-C截面图。

图5是本申请的第二实施例中的填充材料密封后，使温度变化时的热式空气流量计的截面图。

图6是本申请的第二实施例中的电子部件中发生的应变的特性图。

图7是本申请的第三实施例中的热式空气流量计的平面图。

图8是本申请的第三实施例中的热式空气流量计的底面图。

图9是本申请的第三实施例中的填充材料密封后的热式空气流量计的平面图。

图10是本申请的第四实施例中的填充材料密封后的热式空气流量计的平面图。

图11是本申请的第五实施例中的电子部件中发生的应变的特性图。

具体实施方式

以下，用附图说明本发明的实施例。

实施例1

首先，对于热式空气流量计的第一实施例进行说明。