[发明专利]嵌段共聚物有效
申请号: | 201580059710.4 | 申请日: | 2015-09-30 |
公开(公告)号: | CN107075028B | 公开(公告)日: | 2020-04-03 |
发明(设计)人: | 李美宿;金廷根;具世真;朴鲁振;李济权;崔银英;尹圣琇;柳亨周 | 申请(专利权)人: | 株式会社LG化学 |
主分类号: | C08F212/08 | 分类号: | C08F212/08;C08F220/10;C08F297/00;C08F299/00;C08J5/18;C08L53/00;G03F7/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 顾晋伟;高世豪 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 共聚物 | ||
1.一种嵌段共聚物,包含由1,2,4,5-四氟苯乙烯-3-新戊酸酯形成的第一嵌段和由五氟苯乙烯形成的第二嵌段。
2.一种聚合物膜,包含根据权利要求1所述的嵌段共聚物,其中所述嵌段共聚物为自组装的。
3.一种形成聚合物膜的方法,所述方法包括:
在基底上形成包含根据权利要求1所述的嵌段共聚物的聚合物膜,其中所述嵌段共聚物为自组装的。
4.一种形成图案的方法,所述方法包括:
从由基底和聚合物膜构成的层合体中选择性地移除根据权利要求1所述的嵌段共聚物的任一嵌段,所述聚合物膜在所述基底上形成并包含所述嵌段共聚物,其中所述嵌段共聚物为自组装的。
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