[发明专利]温度不变型红外滤波器

权利要求书

1.一种温度不变型窄带通滤波器，其被配置以透射具有透射波长或透射波长的窄带的中红外辐射，所述滤波器包括：

衬底；

第一堆叠，其包括沉积在所述衬底上的交替的高折射率材料层和低折射率材料层；

空腔，其包括沉积在所述第一堆叠上的低折射率材料；以及

第二堆叠，其包括沉积在所述空腔上的交替的高折射率材料层和低折射率材料层，其中：

所述高折射率材料具有在所述温度不变型窄带通滤波器的一部分操作温度下随温度降低的折射率；

所述空腔沉积在所述第一堆叠与所述第二堆叠之间；并且

所述空腔包括一光学厚度，该光学厚度是透射波长或透射波长的窄带的至少三个全波长，或者透射波长或透射波长的窄带的三个半波长；和

其中对于2-14μm的波长范围，所述温度不变型窄带通滤波器的中心波长随温度的改变模数在-25℃至+200℃的温度范围内小于或等于0.2nm/℃。

2.如权利要求1所述的温度不变型窄带通滤波器，其中所述空腔包括三个分开的空腔，并且所述三个分开的空腔中的每一个包括以下光学厚度：所述透射波长的全波长(λ)，或所述透射波长的窄带的全波长，或所述透射波长的半波长(λ/2)，或所述透射波长的窄带的半波长。

3.如权利要求1所述的温度不变型窄带通滤波器，其进一步包括：

交替的高折射率材料和低折射率材料的一个或多个额外堆叠。

4.如权利要求1所述的温度不变型窄带通滤波器，其中所述低折射率材料包括硒化锌和硫化锌中的至少一种。

5.如权利要求1所述的温度不变型窄带通滤波器，其中所述高折射率材料包括碲化铅。

6.如权利要求1所述的温度不变型窄带通滤波器，其中所述高折射率材料包括硫化铅或硒化铅，或者碲化铅、硫化铅和硒化铅的某一组合。

7.如权利要求1所述的温度不变型窄带通滤波器，其中对于2-14μm的波长范围，所述滤波器的峰值透射的改变模数在-25℃至+200℃的温度范围内小于0.1％/℃。

8.如权利要求1所述的温度不变型窄带通滤波器，其中所述半波长空腔和所述全波长空腔的数量与所述滤波器的中心波长随温度的所述改变之间关系被建立，以获得中心波长随温度的所述改变的特定值，包括明显为零的值，方式是使用特定制作方法以及将特定材料用于所述高折射率层和所述低折射率层来制作具有不同数量的所述空腔的一系列滤波器。

9.如权利要求1所述的温度不变型窄带通滤波器，其中组成所述空腔的所述低折射率材料与所述第一堆叠和所述第二堆叠中的至少一个的所述低折射率材料不同。

10.如权利要求1所述的温度不变型窄带通滤波器，其中所述空腔具有为6或更大的y值，其中y是半波长空腔层的总数。

11.一种使用根据权利要求1-10中的任何一项所述的温度不变型窄带通滤波器的方法。