[发明专利]自身发热降低的BAW谐振器、具有BAW谐振器的高频滤波器、具有高频滤波器的双工器以及制造方法

权利要求书

1.一种体声波谐振器BAWR，其包括

电声活跃区域，其具有两个电极和置于它们之间的压电层；

载体衬底；

置于所述电声活跃区域和所述载体衬底之间的声学镜，其具有导热能力低的层和导热能力高的层；以及

耦合到所述载体衬底和所述电声活跃区域的热桥；

其中所述导热能力低的层会降低从所述电声活跃区域朝所述载体衬底的热量流动，以及其中所述热桥设置用来提高从所述电声活跃区域朝所述载体衬底的热量流动。

2.根据权利要求1所述的BAWR，其中所述声学镜具有多个导热能力低的层以及多个导热能力高的层。

3.根据权利要求2所述的BAWR，其中所述导热能力低的层具有低的声学阻抗且所述导热能力高的层具有高的声学阻抗。

4.根据权利要求2所述的BAWR，其中所述导热能力低的层包括绝缘材料且所述导热能力高的层包括金属。

5.根据权利要求1所述的BAWR，其中所述热桥具有比所述导热能力低的层更高的导热能力。

6.根据权利要求1所述的BAWR，其中：

所述热桥和所述电声活跃区域之间的间距小于所述电声活跃区域和所述载体衬底之间的间距；以及

所述热桥和所述载体衬底之间的间距小于所述电声活跃区域和所述载体衬底之间的间距。

7.根据权利要求1所述的BAWR，其中所述热桥具有这样的区域，其在侧面方向上包围着所述电声活跃区域。

8.根据权利要求1所述的BAWR，其中所述热桥具有这样的区域，其排布在至少一个导热能力低的层中并且将至少一个导热能力高的层与所述电声活跃区域或所述载体衬底相连。

9.根据权利要求2所述的BAWR，其中所述热桥具有这样的所述区域，其排布在至少一个导热能力低的层中并且将两个导热能力高的层相互连接起来。

10.一种高频滤波器，其包括根据权利要求1所述的体声波谐振器BAWR。

11.一种双工器，其包括具有根据权利要求1所述的体声波谐振器BAWR的高频滤波器。

12.用来制造体声波谐振器BAWR的方法，其包括以下步骤：

在载体衬底上形成声学镜，其具有交替的导热能力高的层和导热能力低的层，

在所述声学镜上形成电声活跃区域，其在两个电极层之间具有压电层，以及

形成热桥，其经配置以将热量从所述电声活跃区域传递到所述载体衬底，且所述热桥耦合到所述载体衬底和所述电声活跃区域。

13.根据权利要求12所述的方法，其中所述热桥包括这样的区域，其具有导热能力比所述导热能力低的层更高的材料并且在侧面包围着所述电声活跃区域。

14.根据权利要求12所述的方法，其中所述热桥包括这样的区域，其具有导热能力比所述导热能力低的层更高的材料并且在所述导热能力低的层之内形成结构。

15.根据权利要求14所述的方法，其中形成所述热桥包括通过光刻工艺将所述热桥的材料沉淀在所述导热能力低的层中。