[发明专利]能抑制模式转换的用于SAW的换能器

权利要求书

1.一种用于SAW型或PSAW型声波的换能器，

-其构建在漏波衬底上，所述漏波衬底具有有利于形成SAW的晶体剖面，

-其具有两个排布在所述衬底上的电极梳，所述电极梳分别具有与汇流电极(BE)相连的电极指(EF)，其中，所述两个电极梳被排布成如此互插的形式，使得它们的所述电极指(EF)在横向交叠区域(UB)内彼此交叠，

-其中，所述电极梳中的第一电极梳的交叠的电极指(EF)的端部与相应第二电极梳的对置的汇流电极(BE)或者交叠或非交叠的短电极指(SF)的各个对置的端部在横向方向上存在间隔，因此在其间构成间隙(GP)，

-其中，在所述衬底上如此布置电介质(DK)，即使其完全填充所述间隙(GP)，而不覆盖所述电极指的横向交叠区域(UB)，

-其中，所述电介质(DK)在材料和层厚上如此选择，即使得声波在所述横向交叠区域(UB)内与在所述间隙区域(GB)内大致受到相同的声阻抗，并且声波在所述间隙区域内的速度与在所述交叠区域内的速度相同。

2.根据权利要求1所述的换能器，

其中，所述电介质(DK)

-以两个平行条带(DK_S)的形式结构化，这两个平行条带各自平行于所述换能器的纵向方向延伸开来，

-覆盖所述间隙区域(GB)，其具有排布在相同的横向高度上的间隙(GP)，以及

-不覆盖所述横向交叠区域(UB)。

3.根据权利要求2所述的换能器，

其中，所述电介质(DKs)的条带具有如此的宽度，即使得它们还延伸到包括非交叠的所述短截指(SF)的所述换能器的所述边缘区域(RB)或者直至所述汇流电极(BE)。

4.根据权利要求1所述的换能器，

其中，所述电介质(DK_F)以单个斑块的形式结构，它们使所述电极指(EF)以相同或加宽的宽度延长超过其端部。

5.根据前述权利要求中任一项所述的换能器，

-其中，所述电介质(DK)包括SiO₂或者氮化硅，

-其中，所述电极指(EF)的包镀金属包括Al、Cu或者Ti，

-其中，所述包镀金属包括由纯净形式或者互组的合金形式的不同成分组成的多层结构，

-其中，所述电介质层的厚度相当于所述包镀金属的厚度的10至500％。

6.根据前述权利要求中任一项所述的换能器，

-其中，所述电介质(DK)包括SiO₂或者由SiO₂组成，

-其中，所述电介质层的厚度相当于所述包镀金属的厚度的50至150％。

7.根据前述权利要求中任一项所述的换能器，

其构建在包括钽酸锂的衬底上。

8.根据权利要求7所述的换能器，

其中，所述钽酸锂具有晶体剖面LT WI rot YX，其中WI表示剖角并且针对WI，39°≤WI≤46°，其中，WI尤其从39°、42°和46°选出。

9.根据前述权利要求中任一项所述的换能器，

其中，所述交叠区域(UB)具有小于20λ的宽度，其中，λ是声波的波长，其中，孔径优选为5λ至小于20λ之间。