[发明专利]酚醛清漆型酚醛树脂、其制造方法、感光性组合物、抗蚀材料、及涂膜有效
| 申请号： | 201580064208.2 | 申请日： | 2015-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN107001550B | 公开（公告）日： | 2019-04-02 |
| 发明（设计）人： | 今田知之;佐藤勇介 | 申请（专利权）人： | DIC株式会社 |
| 主分类号： | C08G8/20 | 分类号： | C08G8/20;G03F7/023 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 酚系 核体 酚醛清漆型酚醛树脂 感光性组合物 抗蚀材料 取代苯酚 缩合反应 二烷基 涂膜 耐热性 烷基 羟基芳香族 芳香族醛 高灵敏度 曝光波长 酸催化剂 摩尔比 吸光度 合物 羟基 甲醛 射线 制造 | ||
1.一种酚醛清漆型酚醛树脂，其特征在于，其是以下述通式(1)所示的酚系三核体化合物A1、以及选自由下述通式(2-1)、(2-2)、(2-3)及(2-4)所示的化合物组成的组中的1种以上酚系三核体化合物A2和醛类B作为必需的反应原料的酚醛清漆化反应物，所述酚系三核体化合物A1与所述酚系三核体化合物A2的摩尔比为20：80～90：10，
式(1)中，R1、R2及R3各自独立地表示任选具有取代基的碳原子数1～8的烷基，存在多个的R1可以彼此相同也可以不同，存在多个的R2可以彼此相同也可以不同，R3存在多个时，它们可以彼此相同也可以不同，而且，r表示0～4的整数，s表示1或2，其中，r与s的和为5以下，
式中，R表示任选具有取代基的碳原子数1～8的烷基，多个R可以彼此相同也可以不同，R3表示任选具有取代基的碳原子数1～8的烷基，R3存在多个时，它们可以彼此相同也可以不同，t表示0～5的整数。
2.根据权利要求1所述的酚醛清漆型酚醛树脂，其中，作为重复单元，具有选自由下述通式(I-1)所示的结构部位(I-1)及下述通式(II-1)所示的结构部位(II-1)组成的组中的1种以上结构部位，
式(I-1)中，R1及R2各自独立地表示任选具有取代基的碳原子数1～8的烷基，存在多个的R1可以彼此相同也可以不同，存在多个的R2可以彼此相同也可以不同，R4表示氢原子、任选具有取代基的烷基、或任选具有取代基的芳基，
式(II-1)中，R1、R2及R4与所述式(I-1)相同。
3.根据权利要求1所述的酚醛清漆型酚醛树脂，其重均分子量为5000～35000。
4.一种感光性组合物，其含有权利要求1所述的酚醛清漆型酚醛树脂和光敏剂。
5.一种抗蚀材料，其由权利要求4所述的感光性组合物形成。
6.一种酚醛清漆型酚醛树脂组合物，其特征在于，含有：作为下述通式(1)所示的酚系三核体化合物A1与醛类B的酚醛清漆化反应物的酚醛清漆型酚醛树脂A1、和作为选自由下述通式(2-1)、(2-2)、(2-3)及(2-4)所示的化合物组成的组中的1种以上酚系三核体化合物A2与醛类B的酚醛清漆化反应物的酚醛清漆型酚醛树脂A2，
式(1)中，R1、R2及R3各自独立地表示任选具有取代基的碳原子数1～8的烷基，存在多个的R1可以彼此相同也可以不同，存在多个的R2可以彼此相同也可以不同，R3存在多个时，它们可以彼此相同也可以不同，而且，r表示0～4的整数，s表示1或2，其中，r与s的和为5以下，
式中，R表示任选具有取代基的碳原子数1～8的烷基，多个R可以彼此相同也可以不同，R3表示任选具有取代基的碳原子数1～8的烷基，R3存在多个时，它们可以彼此相同也可以不同，t表示0～5的整数。
7.根据权利要求6所述的酚醛清漆型酚醛树脂组合物，其中，所述酚醛清漆型酚醛树脂A1与所述酚醛清漆型酚醛树脂A2的含有比率以源自酚系三核体化合物A1的结构单元和源自酚系三核体化合物A2的结构单元的摩尔比计处于20：80～90：10的范围。
8.一种感光性组合物，其含有权利要求6所述的酚醛清漆型酚醛树脂组合物和光敏剂。
9.一种抗蚀材料，其由权利要求8所述的感光性组合物形成。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于DIC株式会社，未经DIC株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201580064208.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
