[发明专利]基板监视装置及基板监视方法

权利要求书

1.一种基板监视装置，其具备：

摄像部，其具有接收来自指定摄像范围的光的受光面；

基板载台，具备设置基板的设置面，该基板形成为厚度小于1mm的四方形状且由玻璃或合成树脂构成，

配置部，其在所述摄像范围内配置整个所述基板；

升降机构，在所述基板的背面与所述设置面接触的设置位置和所述基板从设置面向上方离开预定距离的上升位置之间改变所述基板的位置，

照射部，其构成为通过对配置于所述摄像范围内的所述基板照射激光光线；以及

监视部，其监视摄像结果，

所述基板的端部具有端面，

所述照射部对所述基板的四个角落的至少1个照射所述激光光线，从所述基板的所述端面中的与导入所述激光光线的部位不同的部位导出所述激光光线，

所述摄像部在所述基板从所述设置位置移动至所述上升位置之间、或是从所述上升位置移动至所述设置位置之间的多个位置拍摄所述基板，与由所述配置部配置的所述基板对置，将通过在所述基板的端部产生的所述激光光线的散射光形成的所述端部的影像作为摄像结果而形成于所述受光面，

所述监视部将所述多个位置拍摄的所述摄像结果合成，在所述基板从所述设置位置移动至所述上升位置之间、或是从所述上升位置移动至所述设置位置之间完成所述基板的端部有无损伤的判断，

所述监视部由所述基板的端面的亮度判断所述基板的端部有无损伤。

2.根据权利要求1所述的基板监视装置，其中，所述摄像部是将通过所述照射部对所述基板照射所述激光光线而透过所述基板内进而在所述端部散射的所述激光光线的散射光形成的所述端部的影像作为摄像结果而形成于所述受光面。

3.根据权利要求2所述的基板监视装置，其中，所述摄像部是将通过所述照射部对所述基板照射所述激光光线并通过在所述基板内的反射而透过所述基板内进而在所述端部散射的所述激光光线的散射光形成的所述端部的影像作为摄像结果而形成于所述受光面。。

4.根据权利要求1至3的任意一项所述的基板监视装置，其中，所述照射部是点光源。

5.根据权利要求1至3的任意一项所述的基板监视装置，其中，所述照射部是将具有沿着所述端部延伸的带形状的所述激光光线照射于所述端部。

6.一种基板监视方法，其包含：

照射工序，通过对配置于摄像部具有的摄像范围内的基板照射激光光线，从而在所述基板的端部产生所述激光光线的散射光，将所述端部的影像作为摄像结果而形成于所述摄像部的受光面；

摄像工序，拍摄所述端部；以及

监视工序，监视摄像结果，所述基板具有厚度小于1mm的四方形形状，由玻璃或合成树脂构成，所述基板的端部具有端面，

所述基板能够在背面与设置面接触的设置位置和从所述设置面向上方离开预定距离的上升位置之间升降，

所述照射工序中，对所述基板的四个角落的至少1个照射所述激光光线，从所述基板的所述端面中的与导入所述激光光线的部位不同的部位导出所述激光光线，

所述摄像工序中，在所述基板从所述设置位置移动至所述上升位置之间、或是从所述上升位置移动至所述设置位置之间的多个位置，从与所述基板对置的方向摄像位于所述摄像范围的整个所述基板，

所述监视工序中，将所述多个位置拍摄的所述摄像结果合成，在所述基板从所述设置位置移动至所述上升位置之间、或是从所述上升位置移动至所述设置位置之间完成所述基板的端部有无损伤的判断，

所述监视工序中，由所述基板的端面的亮度判断所述基板的端部有无损伤。

7.根据权利要求6所述的基板监视方法，其中，照射所述激光光线的照射部是点光源。

8.根据权利要求7所述的基板监视方法，其中，所述照射部具有的照射口直径比所述基板的厚度大。