[发明专利]非侵入式滤体扫描

权利要求书

1.一种扫描模块，其特征在于，包含：

一壳体具有多个扫描探针设置于其内；以及

一移动机构连接于该多个扫描探针，该移动机构可操作以同时置换该壳体中的该多个扫描探针。

2.如权利要求1所述的扫描模块，其特征在于，该壳体进一步包含：

多个接口，每个接口通过一挠性导管连接至该多个扫描探针的各别一个。

3.如权利要求1所述的扫描模块，其特征在于，该移动机构进一步包含：

一单一穿透。

4.如权利要求1所述的扫描模块，其特征在于，该移动机构进一步包含：

一内部作动器。

5.如权利要求1所述的扫描模块，其特征在于，该多个扫描探针被直线对齐于一方向垂直于由该移动机构引致的行程的方向。

6.如权利要求1所述的扫描模块，其特征在于，该多个扫描探针进一步包含：

一被设置以扫描一第一滤体的第一群组的扫描探针；以及

一被设置以扫描一第二滤体的第二群组的扫描探针。

7.如权利要求6所述的扫描模块，其特征在于，该第一群组的扫描探针被与该第二群组的扫描探针直线对齐。

8.如权利要求1所述的扫描模块，其特征在于，该多个扫描探针进一步包含：

一第一群组的扫描探针；以及

一第二群组的扫描探针被设置平行于该第一群组的扫描探针。

9.一滤体壳体组件，其特征在于，包含：

一滤体壳体，具有一入口、一出口、一滤体架、以及一滤体出入口；以及

一扫描模块设置于该滤体架及该出口之间，该扫描模块包含：

多个扫描探针；以及

一移动机构连接于该多个扫描探针，该移动机构可操作以同时置换该壳体中的该多个扫描探针于一方向垂直于该壳体内的该入口及该出口间的气流的一方向。

10.如权利要求9所述的滤体壳体组件，其特征在于，进一步包含：

多个接口，每个接口通过一挠性导管连接至该多个扫描探针的各别一个。

11.如权利要求9所述的滤体壳体组件，其特征在于，该移动机构进一步包含：

一单一穿透。

12.如权利要求9所述的滤体壳体组件，其特征在于，该移动机构进一步包含：

一内部作动器。

13.如权利要求9所述的滤体壳体组件，其特征在于，该多个扫描探针被直线对齐于一方向垂直于由该移动机构引致的行程的方向。

14.如权利要求9所述的滤体壳体组件，其特征在于，该多个扫描探针进一步包含：

一被设置以扫描一第一滤体的第一群组的扫描探针；以及

一被设置以扫描一第二滤体的第二群组的扫描探针。

15.如权利要求14所述的滤体壳体组件，其特征在于，该第一群组的扫描探针被与该第二群组的扫描探针直线对齐。

16.如权利要求9所述的滤体壳体组件，其特征在于，该多个扫描探针进一步包含：

一第一群组的扫描探针；以及

一第二群组的扫描探针被设置平行于该第一群组的扫描探针。

17.如权利要求16所述的滤体壳体组件，其特征在于，该第一群组的扫描探针被配置以扫描设置于该滤体壳体内的一第一滤体且该第二群组的扫描探针被配置以扫描设置于该滤体壳体内的一第二滤体。

18.一种扫描一滤体的方法，其特征在于，该方法包含：

由固定于一壳体的一第一滤体上游引入一挑战空浮微粒；

同时移动一第一多个取样探针于跨越该第一滤体的一下游面的一单一扫动；以及

通过利用由该探针组件收集到的样本决定在该第一滤体的泄漏。

19.如权利要求18所述的方法，其特征在于，进一步包含：

同时移动一第二多个取样探针于跨越该第一滤体的下游面的一单一扫动，该第二多个取样探针被设置为平行排列方向相对于该第一多个取样探针。

20.如权利要求18所述的方法，其特征在于，进一步包含：

同时移动一第二多个取样探针于跨越一第二滤体的下游面的一单一扫动，该第一及第二多个取样探针连接于一共有的移动机构。