[发明专利]制动系统

说明书

本发明公开了一种方法，所述方法包括：对于由空气轴承支撑的部件，检测所述部件相对于预定义位点的移动速度，所述空气轴承产生空气流以相对于地平面抬升所述部件；以及至少部分地基于所述检测到的速度来控制所述空气轴承。

技术领域

本说明书整体涉及安全制动系统，该安全制动系统例如与空气轴承或其他移动机构一起使用。

背景技术

自动测试设备(ATE)是指用于测试装置(诸如半导体、电子电路和印刷电路板组件)的自动化(通常计算机驱动的)系统。ATE通常包括重量可以吨计的大型部件。此类部件的例子有测试头、操纵器、手柄和晶片探测器。在测试期间，这些部件可能需要从一个位点移动到另一个位点。最复杂的相互运动是测试头，因为测试头被移动到与手柄或晶片探测器对准。操纵器通常使用昂贵且限制自由度的轨道轴承组来提供这种接合。

发明内容

一种示例性方法可包括：对于由空气轴承支撑的部件，检测部件相对于预定义位点的移动速度，其中空气轴承产生空气流以相对于地平面抬升部件；以及至少部分地基于所检测到的速度来控制由空气轴承支撑的装置的运动自由度。该示例性方法可包括以下特征中的任意一个或多个(单独地或组合地)。

该示例性方法可包括：确定部件的移动速度大于阈值；以及确定部件在与预定义位点相关联的地理区域内。控制空气轴承可包括：减少进入到空气轴承中的空气流以便通过移除空气轴承所提供的一些支撑并允许制动表面接触支撑地板来降低部件的移动速度。该示例性方法还可包括限制空气流减少的速率。

该示例性方法可包括：确定部件的移动速度小于阈值；以及确定部件在与预定义位点相关联的地理区域内。控制空气轴承可包括保持空气轴承的空气流以便保持部件的移动速度。

该示例性方法可包括：确定部件的移动速度大于阈值；以及确定部件在与预定义位点相关联的地理区域内。控制空气轴承可包括：调节空气轴承的空气流以便通过允许制动表面接触支撑表面来降低部件的移动速度。

该示例性方法可包括：检测部件相对于预定义位点的位置；以及还基于该位置来控制空气轴承。可相对于具有位置标记的衬垫来检测位置。位置标记可包括同心形状，所述同心形状的节距随着与中心的距离的增大而减小。可以光学方式检测位置标记。可使用射频检测来检测位置，其中发送器位于部件处并且接收器位于位点处，或者其中接收器位于部件处并且发送器位于位点处。可使用超声来检测位置。可使用栓绳和电位计来检测位置，其中栓绳连接到部件并且被配置为与部件一起移动。栓绳的长度对应于电位计测得的电阻，并且所述位置基于栓绳的长度。可使用全球定位系统或其他适当的位置定位方法来检测位置。

一种示例性系统可包括：部件；支撑部件的空气轴承，其中空气轴承被配置为产生空气流以相对于地平面抬升部件；检测器，该检测器用于检测空气轴承上的部件的移动速度；以及控制器，该控制器输出信号以至少部分地基于所检测到的速度来控制空气轴承。该示例性系统可包括以下特征中的任意一个或多个(单独地或组合地)。

控制器可被配置为执行包括以下各者的操作：确定部件的移动速度大于阈值；以及确定部件在与预定义位点相关联的地理区域内；其中控制空气轴承包括减少空气轴承的空气流以便降低部件的移动速度。控制空气轴承可包括限制空气流减少的速率。

控制器可被配置为执行包括以下各者的操作：确定部件的移动速度小于阈值；以及确定部件在与预定义位点相关联的地理区域内，其中控制空气轴承包括保持空气轴承的空气流以便保持部件的移动速度。

控制器可被配置为执行包括以下各者的操作：确定部件的移动速度大于阈值；以及确定部件在与预定义位点相关联的地理区域内；其中控制空气轴承包括减少空气轴承的空气流以便降低部件的移动速度。