[发明专利]轻型平台

说明书

本发明目的在于开发一种在能够充分确保必要的性能的同时以尽可能低的成本制造的轻型平台。轻型平台(A)由上板(10)、下板(20)和中间构造体(30)构成。将板材(31)每折弯2次后向相反侧折弯以使コ字状部分(32)和倒コ字状部分(33)连续而形成折弯板材(34)，将该折弯板材(34)以コ字状部分(32)或倒コ字状部分(33)彼此位于相反侧的方式平行地配置而形成中间构造体(30)。相邻地配置的折弯板材(34)的コ字状部分(32)或倒コ字状部分(33)的接触面被固定。

技术领域

本发明涉及用于载置精密天秤、光学设备或计量设备等精密设备类的轻型平台。

背景技术

近年来，伴随着计量技术的快速进步，以半导体产业、超精加工技术的领域为起点，已经达到了无法忽视所有的制造现场的周围环境对制造装置的影响的阶段。例如被指出，在地板中传来的振动、周边的装置所产生的振动、从空气传播的声响等会给被设置在防振台、作业台上的测量设备的分辨率、数据的再现性带来问题。

为了在处于那样的干扰中发挥上述精密设备的性能，重要的是对搭载这些精密设备类的轻型平台赋予高防振性(防振模式)、高共振抑制性、耐高弯曲模式、耐高扭歪模式。因此，专利文献1所记载的蜂窝夹层平台通过将设于上板与下板之间的中间构造体作为蜂窝夹层构造体，将粘弹性体收纳在由于振动而使轻型平台的位移大的部位的蜂窝夹层空间内，利用该粘弹性体消耗振动能，从而欲解决该问题(参照专利文献1)。

先行技术文献

专利文献

专利文献1:日本特开2005－195154号公报

发明内容

发明要解决的课题

蜂窝夹层构造是材料力学上非常优异的构造，但是在欲由铝的挤压成形品构成该蜂窝夹层构造时，存在模具花费成本高且若不大量生产则不合算这样的问题，且无法大型化。因此，也有如下的方法，即，对于芯部分，例如以恒定间隔对钢板材实施切缝，将在交叉的钢板材的相反侧被切割而成的切缝插入到该切缝中进行组合，通过焊接将插入部接合而形成蜂窝夹层构造，该方法虽然能够适用于少量生产，但是存在非常花费精力且成本高这样的问题。此外，在作为精密设备的载置台而使用的情况下，不得不对上板以恒定间隔穿设多个内螺纹孔，但是该内螺纹孔加工不得不在开孔加工之后逐个进行攻丝加工，在这个方面存在成本相当高的问题。

本发明是为了解决这样的以往的问题而提出的，其目的在于，开发一种在能够充分确保必要的性能的同时以尽可能低的成本来制造的轻型平台。

用于解决课题的手段

技术方案1记载的发明是一种轻型平台A，其由用于设置载荷W的上板10、被设置于地板面50的下板20、和被设置于上板10与下板20之间的中间构造体30构成，其特征在于，

将板材31每折弯2次后向相反侧折弯以使コ字状部分32和倒コ字状部分33连续，而形成折弯板材34，将该折弯板材34以コ字状部分32或倒コ字状部分33彼此位于相反侧的方式平行地配置，而形成中间构造体30，

相邻地配置的折弯板材34的コ字状部分32或倒コ字状部分33的接触面35被固定。

技术方案2记载的发明是根据技术方案1所记载的轻型平台A，其特征在于，

上板10由上面板部11、中间板部12和下面板部13这3层构造构成，在上面板部11以恒定间隔穿设有紧固螺钉穿过孔11a，在下面板部13与紧固螺钉穿过孔11a重合地穿设有卡定孔13a，

中间板部12是树脂制，在中间板部12的下面突出设置有穿过卡定孔13a的卡定突起12a，且从中间板部12的上面起穿设有到达卡定突起12a的内螺纹孔12b，