[发明专利]采用卷对卷处理制造的微机电系统

权利要求书

1.一种制造微机电系统的方法，所述微机电系统包括固定主体和可从所述固定主体释放的元件，并且一旦释放，该元件可相对于所述固定主体移动，所述方法包括：

在柔性塑料材料的第一片材的第一表面上对金属涂层进行图案化，以从所述第一片材的表面的第一部分移除所述金属涂层，同时在所述第一片材的表面的第二部分上留下第一金属区域；

对所述第一片材进行图案化，以从所述第一片材的第一部分产生所述固定主体以及从所述第一片材的第二部分产生所述元件，其中所述元件具有第一金属区域，和将所述元件连接到所述固定主体的一部分的系绳；以及

将柔性塑料材料的第二片材层压到所述第一片材以提供复合层压结构。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述微机电系统是微型泵，所述固定主体是泵体，并且所述元件是阀的可移动元件。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，对所述第一片材进行图案化包括：

烧蚀所述金属涂层以留下所述第一金属区域。

4.根据权利要求2所述的方法，其中，所述元件是第一元件，并且对所述金属涂层进行图案化还包括：

烧蚀所述金属涂层以在所述第一片材上留下第一金属区域和第二金属区域；并且其中，对所述第一片材进行图案化还包括：

对所述第一片材进行图案化，以从所述第一片材的第三部分产生可从所述固定主体释放的第二元件，并且一旦释放就可相对于所述固定主体移动，其中所述第二元件具有所述第二金属区域和将所述第二元件连接到所述固定主体的第二部分的系绳。

5.根据权利要求1所述的方法，还包括：

在所述第二片材的第一表面上沉积导电层，该导电层在所述第二片材的第一表面上提供电极。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第二片材在所述第二片材的第一表面上具有导电层。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，所述微机电系统在卷对卷处理线上被制造，并且所述方法还包括：

从第一卷移除具有金属涂层的柔性塑料材料的第一片材；以及

从第二卷移除在一个表面上具有金属涂层的柔性塑料材料的第二片材；并且其中，在所述第一片材上对金属涂层进行图案化包括烧蚀并且所述第一片材的图案化包括烧蚀。

8.根据权利要求1所述的方法，其中，

所述第二片材在所述第二片材的第一表面上具有导电层；所述方法还包括：

对第二片材上的导电层进行图案化，以提供在第二片材上提供电极的导电层的隔离区域。

9.根据权利要求1所述的方法，其中，通过图案化所述金属涂层和图案化所述第一片材提供包括所述固定主体、所述元件和附加元件的多个固定主体，并且层压所述第二片材提供包括复合层压结构的多个复合层压结构，其中所述方法还包括：

将所述复合层压结构切割成包括单个模片；

堆叠各个模片以产生堆叠结构；以及

层压堆叠结构以产生微机电系统的部件。

10.根据权利要求1所述的方法，其中，所述微机电系统是微型泵，所述固定主体是泵体，并且所述元件是阀的阀元件；其中所述金属涂层的图案化还包括在第一片材上产生第二金属区域，并且图案化所述第一片材提供可从所述泵体释放的另一元件，其一旦被释放就可相对于所述泵体移动，其中第一和第二元件是在泵体的入口和出口处的阀的阀元件。