[发明专利]固体激光系统

权利要求书

1.一种固体激光系统，具备：

第一固体激光装置，输出第一波长的第一脉冲激光束；

第二固体激光装置，输出第二波长的第二脉冲激光束；

波长转换系统，供所述第一脉冲激光束和所述第二脉冲激光束射入；

光学快门，配置在所述第一脉冲激光束和所述第二脉冲激光束中的任何一方的光路上；以及

控制部，使所述第一脉冲激光束和所述第二脉冲激光束分别从所述第一固体激光装置和所述第二固体激光装置连续输出，并且，在来自外部装置的脉冲串信号为“开”时，通过进行打开所述光学快门的控制，使所述第一脉冲激光束和所述第二脉冲激光束大致同时射入所述波长转换系统，从而使由所述第一波长和所述第二波长通过波长转换而形成的第三波长的第三脉冲激光束从所述波长转换系统输出；在所述脉冲串信号为“关”时，通过进行关闭所述光学快门的控制，使所述第一脉冲激光束和所述第二脉冲激光束射入所述波长转换系统的定时在时间上不重叠，从而使来自所述波长转换系统的所述第三脉冲激光束的输出停止。

2.根据权利要求1所述的固体激光系统，其中，所述外部装置是曝光装置。

3.一种固体激光系统，具备：

第一固体激光装置，输出第一波长的第一脉冲激光束；

第二固体激光装置，输出第二波长的第二脉冲激光束；

波长转换系统，供所述第一脉冲激光束和所述第二脉冲激光束射入；以及

控制部，使所述第一脉冲激光束和所述第二脉冲激光束分别从所述第一固体激光装置和所述第二固体激光装置连续输出，并且，在来自外部装置的脉冲串信号为“开”时，通过使所述第一脉冲激光束和所述第二脉冲激光束大致同时射入所述波长转换系统，从而使由所述第一波长和所述第二波长通过波长转换而形成的第三波长的第三脉冲激光束从所述波长转换系统输出；在所述脉冲串信号为“关”时，通过以相互之间的时间差大于等于所述第一脉冲激光束的脉冲宽度与所述第二脉冲激光束的脉冲宽度之和的不同的定时，使所述第一脉冲激光束和所述第二脉冲激光束射入所述波长转换系统，从而使来自所述波长转换系统的所述第三脉冲激光束的输出停止。

4.根据权利要求3所述的固体激光系统，其中，进一步具备同步电路，

所述同步电路以与第一触发信号同步的方式输出第二触发信号和第三触发信号，所述第二触发信号使所述第一脉冲激光束从所述第一固体激光装置输出，所述第三触发信号使所述第二脉冲激光束从所述第二固体激光装置输出，

所述控制部通过以与所述脉冲串信号同步的方式控制所述同步电路，从而在所述脉冲串信号为“开”时，使所述第一脉冲激光束和所述第二脉冲激光束以大致相同的定时射入所述波长转换系统；在所述脉冲串信号为“关”时，使所述第一脉冲激光束和所述第二脉冲激光束以不同的定时射入所述波长转换系统。

5.根据权利要求3所述的固体激光系统，其中，所述外部装置是曝光装置。

6.一种固体激光系统，具备：

第一固体激光装置，输出第一波长的第一脉冲激光束；

第二固体激光装置，输出第二波长的第二脉冲激光束；

波长转换系统，供所述第一脉冲激光束和所述第二脉冲激光束射入；

光强变化部，可以改变所述第一脉冲激光束和所述第二脉冲激光束中的至少一方的光强度；以及

控制部，使所述第一脉冲激光束和所述第二脉冲激光束大致同时射入所述波长转换系统，并且，通过控制所述光强变化部，从而在来自外部装置的脉冲串信号为“开”时，控制所述第一脉冲激光束和所述第二脉冲激光束的光强度，以使由所述第一波长和所述第二波长通过波长转换而形成的第三波长的第三脉冲激光束从所述波长转换系统输出；在所述脉冲串信号为“关”时，控制所述第一脉冲激光束和所述第二脉冲激光束中的至少一方的光强度，以使来自所述波长转换系统的所述第三脉冲激光束的输出停止。

7.根据权利要求6所述的固体激光系统，其中，

所述光强变化部是光学快门，

所述控制部通过控制所述光学快门的透射率来控制所述第一脉冲激光束的光强度。

8.根据权利要求6所述的固体激光系统，其中，

所述光强变化部是光放大器，

所述控制部通过控制所述光放大器的放大率来控制所述第二脉冲激光束的光强度。

9.根据权利要求6所述的固体激光系统，其中，所述外部装置是曝光装置。