[发明专利]用于测量工件的特征的方法和设备

权利要求书

1.一种坐标测量机，所述坐标测量机用于通过测量工件上的表面测量点来确定几何特征，所述坐标测量机包括作为第一传感器的图像处理传感器和至少一个波长选择分光器，所述图像处理传感器具有作为第一光束路径的图像处理传感器光束路径，所述第一光束路径包括面朝待测量工件的至少一个前镜片，所述前镜片被实施为非球面镜并且/或者所述前镜片包括彩色纵向瑕疵，所述波长选择分光器被布置在所述前镜片的背向工件一侧上，第二光束路径通过所述波长选择分光器耦合至图像处理光束路径，并且公共光束路径被形成，因为从待测量工件的方向穿过所述前镜片的光至少部分地离开所述公共光束路径耦合到所述第二光束路径中，所述第二光束路径与作为第二传感器的彩色距离传感器相关联，所述图像处理传感器和所述第二传感器被实施为用于直接测量工件表面和/或用于确定一个标记的偏转，或者每个传感器用于确定一个标记的偏转，所述标记与挠曲弹性探针相关联，

其特征在于，

选择性波长分光器将较少部分光谱引导到所述第一传感器中，并且将光的全部光谱引导到所述第二光束路径中，或者将没有被朝着所述第一传感器引导的光引导到所述第二光束路径中。

2.根据权利要求1所述的坐标测量机，

其特征在于，

所述图像处理传感器包括图像传感器，并且，至少两个单独的可移位透镜或者透镜组被布置在所述第一光束路径中图像传感器和所述分光器之间，和/或所述前镜片和所述分光器之间，以用于独立地调节工作距离和成像比例。

3.根据权利要求2所述的坐标测量机，

其特征在于，

所述图像传感器是CCD或CMOS相机。

4.根据权利要求1或2所述的坐标测量机，

其特征在于，

所述非球面镜包括不同的彩色色差或彩色纵向瑕疵，并且对波长敏感的检测器被布置在所述第二光束路径中，并且其中，所述波长选择分光器对波长有选择性，使得来自工件的方向并且入射在所述分光器上的光的光谱的仅有限波长范围被朝着图像处理光束路径的图像传感器引导，

-分光器被实施为使得所述分光器反射或者透过波长上限之上的有限波长范围，其中，所述波长上限大于600纳米，因此基本上红光朝着所述图像传感器透过，其中，所述分光器为二色性的，或者

-分光器被实施为使得所述分光器反射或者透过低于波长下限的有限波长范围，其中，所述波长下限小于500纳米，因此基本上蓝光朝着所述图像传感器透过，其中，所述分光器为二色性的，或者

-分光器被实施为带通或者带阻滤光器，使得所述分光器反射或者透过波长下限之上并且低于波长上限的有限波长范围，其中，所述波长范围接近单色，其中，所述分光器包括至少一个干涉滤光器。

5.根据权利要求4所述的坐标测量机，

其特征在于，

对波长敏感的检测器是光谱仪。

6.根据权利要求4所述的坐标测量机，

其特征在于，

在分光器被实施为带通或者带阻滤光器的情况下，所述波长范围包括不大于100纳米的光谱宽度。

7.根据权利要求6所述的坐标测量机，

其特征在于，

在分光器被实施为带通或者带阻滤光器的情况下，所述波长范围包括不大于50纳米的光谱宽度。

8.根据权利要求1或2所述的坐标测量机，

其特征在于，

用于耦合所述第二光束路径的中性分光器被布置在至少一个波长选择性分光器和所述前镜片之间，其中，所述第二光束路径包括宽带光源，所述宽带光源的光朝着工件耦合。

9.根据权利要求8所述的坐标测量机，

其特征在于，

所述波长选择性分光器为二色性的或者是滤色器。