[发明专利]提供增强的抗月牙洼磨损性能的AlCrN基涂层

权利要求书

1.一种沉积在基材(201)的表面上的涂层(210)，其包括多层膜(216)，所述多层膜由多个A层和多个B层组成，所述多个A层和多个B层相互交替沉积形成A/B/A/B/A...结构，所述A层包含铝铬硼氮化物，所述B层包含铝铬氮化物且不含硼，

其特征是，

所述多层膜(216)至少包括初始涂层部分(216a)和最后涂层部分(216c)，其中，在所述初始涂层部分(216a)中的平均硼含量大于在所述最后涂层部分(216c)中的平均硼含量，并且

所述初始涂层部分(216a)和所述最后涂层部分(216c)两者都显示出固有压应力，且其中，在所述初始涂层部分(216a)中的固有压应力小于在所述最后涂层部分(216c)中的固有压应力。

2.根据权利要求1所述的涂层，其特征是，在所述初始涂层部分(216a)中的平均硼含量是在所述最后涂层部分(216c)中的平均硼含量的至少1.2倍。

3.根据权利要求2所述的涂层，其特征是，在所述初始涂层部分(216a)中的平均硼含量是在所述最后涂层部分(216c)中的平均硼含量的至少1.4倍。

4.根据前述权利要求1至3中任一项所述的涂层，其特征是，在所述初始涂层部分(216a)中的平均硼含量是在所述最后涂层部分(216c)中的平均硼含量的最多6倍。

5.根据权利要求1所述的涂层，其特征是，在所述初始涂层部分(216a)中的固有压应力为2.5GPa或更小。

6.根据权利要求1所述的涂层，其特征是，在所述最后涂层部分(216c)中的固有压应力为3GPa或更大。

7.根据权利要求1所述的涂层，其特征是，在所述最后涂层部分(216c)中的固有压应力不大于8GPa。

8.根据权利要求1所述的涂层，其特征是，在所述多层膜(216)中的A层在不考虑污物的情况下具有由化学式(Al_xCr_yB_z)N给出的元素组成，其中，x>0、y>0和z>0分别是铝、铬和硼以原子百分比表示的浓度，如果仅考虑铝、铬和硼用于评估相应A层中的元素组成。

9.根据权利要求1所述的涂层，其特征是，在所述多层膜(216)中的B层在不考虑污物的情况下具有由化学式(Al_vCr_w)N给出的元素组成，其中，v>0和w>0分别是铝和铬以原子百分比表示的浓度，如果仅考虑铝和铬用于评估相应B层中的元素组成。

10.根据权利要求8所述的涂层，其特征是，在所述A层中的所述系数x、y和z满足条件1≤x/y≤4.5和/或0.01≤z≤30。

11.根据权利要求9所述的涂层，其特征是，在所述B层中的所述系数v和w满足条件1≤v/w≤4.5。

12.根据权利要求1所述的涂层，其特征是，所述涂层包括基层(212)，该基层所显示出的固有压应力等于或小于在所述多层膜(216)的初始涂层部分(216a)中的固有压应力。

13.根据权利要求1所述的涂层，其特征是，所述涂层包括最外层(220)，该最外层所显示出的固有压应力等于或大于在所述多层膜(216)的最后涂层部分(216c)中的固有压应力。

14.一种用于制造根据前述权利要求中任一项所述的涂层的方法，其特征是，至少所述多层膜(216)通过使用PVD技术来制造，并且所述多层膜(216)的初始涂层部分(216a)和最后涂层部分(216c)是通过使用包括相同的靶和除偏压外的相同的涂覆参数在内的相同的涂覆配置来沉积的。