[发明专利]用于测量气体混合物中的二氧化碳浓度的传感器及其制造方法

权利要求书

1.一种用于测量气体混合物中的二氧化碳浓度的传感器，具有介电层（3），所述介电层由铁电体构成并且所述介电层被布置在层状第一电极（2）与层状第二电极（4）之间，其中所述第二电极（4）是复合电极，所述复合电极具有作为所述复合电极的第一材料的至少一种碳酸盐和/或磷酸盐，所述碳酸盐从Li₂CO₃、Na₂CO₃、MgCO₃、CaCO₃、SrCO₃、BaCO₃、MnCO₃、CoCO₃、NiCO₃、CuCO₃或者这些碳酸盐中的多种碳酸盐的混合物中选择，所述磷酸盐从磷灰石和/或羟磷灰石中选择，所述磷灰石和/或羟磷灰石包含阳离子Ca²⁺、Sr²⁺或者Ba²⁺中的至少一种，并且所述复合电极具有所述复合电极的至少一种第二材料，所述第二材料从铂、金、银、铜、铟锡氧化物、掺杂铝的氧化锌或者这些元素或化合物中的多种元素或化合物的合金或混合物中选择，

所述第一材料被布置在所述第二材料与所述介电层（3）之间，其中所述第一材料在所述第二电极中形成子层，所述子层接触电介质，并且所述第二材料在所述第一材料的背离所述电介质的侧上形成保护所述第一材料的另一子层，或者

所述第二材料以颗粒（44）形式存在，所述颗粒涂布有所述第一材料和/或在所述颗粒的孔隙中包含所述第一材料，或者

所述第二电极（4）具有所述第一材料的颗粒（45）和所述第二材料的颗粒（46）的混合物。

2.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述介电层（3）的厚度（d₃）为最大10μm，所述第一电极（2）的厚度（d₂）为最大5μm，并且所述第二电极（4）的厚度（d₄）为最大100μm。

3.根据权利要求1或2所述的传感器，其特征在于，所述第一电极（2）被施加在作为衬底（1）的微热板（5）的薄膜上。

4.根据权利要求3所述的传感器，其特征在于，所述第一电极（2）被设立为所述微热板（5）的加热器。