[发明专利]图案化印模制造方法、图案化印模和压印方法

权利要求书

1.一种用于压印光刻的压印印模（100），该压印印模包括：具有携带浮雕图案（122）的轮廓化表面的柔韧印模层（120），该浮雕图案被暴露以用于图案化衬底的轮廓化表面；以及粘附到所述柔韧印模层并且包括填充有填充材料的多个孔的柔韧的和/或可压缩的支持层。

2.权利要求1的压印印模，其中所述填充材料是与所述柔韧印模层的材料不同的材料。

3.权利要求1的压印印模，其中所述填充材料是与所述柔韧印模层的材料相同的材料。

4.权利要求1-3中的任一项的压印印模，其中所述柔韧印模层和所述支持层中的至少一个包括基于硅氧烷的聚合物或由基于硅氧烷的聚合物构成。

5.权利要求1-3中的任一项的压印印模（100），其中所述柔韧印模层（120）具有第一杨氏模量，并且所述支持层具有第二杨氏模量，其中所述第一杨氏模量大于所述第二杨氏模量。

6.权利要求1-3中的任一项的压印印模，其中所述支持层的材料和所述填充材料具有折射率，使得所述支持层针对光辐射是至少部分地透明的。

7.一种制造具有携带浮雕图案的轮廓化表面的压印印模（100）的方法，该方法包括：

- 将柔韧材料前体层（115）应用在携带反转的浮雕图案（52）的浮雕图案主件（50）之上以在所述柔韧材料前体层中形成所述浮雕图案（122）；

- 固化所述柔韧材料前体以形成包括所述浮雕图案的柔韧印模层（120）；

- 通过将多孔柔韧且/或可压缩支持层粘附到所述柔韧印模层来提供中间印模结构；

- 从所述浮雕图案主件释放所述中间印模结构；

- 迫使所述中间印模结构进入衬底的轮廓化表面上，所述浮雕图案面向所述轮廓化表面；

- 通过用填充材料填充所述多孔柔韧支持层的孔的至少部分以减小所述支持层的柔韧性来形成所述压印印模；以及

- 从所述衬底的所述轮廓化表面移除图案化印模。

8.权利要求7的方法，进一步包括固化所述填充材料。

9.权利要求7的方法，进一步包括通过下述操作形成所述多孔柔韧支持层（130）：

- 混合柔韧材料与牺牲材料以形成初始层；

- 固化所述初始层；以及

- 从所述初始层移除所述牺牲材料以形成所述多孔柔韧支持层。

10.权利要求9的方法，其中所述牺牲材料包括蔗糖基质或由蔗糖基质构成，并且其中所述移除步骤包括溶解所述蔗糖基质。

11.权利要求7-10中任一项的方法，其中迫使所述中间印模结构进入所述衬底的反转的轮廓化表面（10）上的步骤包括：

- 将所述中间印模结构放置在真空室中的所述反转的轮廓化表面上；以及

- 减小在所述真空室中的压力以迫使所述柔韧印模层进入所述反转的轮廓化表面上。

12.权利要求7-10中任一项的方法，其中所述柔韧印模层（120）和所述多孔柔韧支持层（130）包括橡胶状材料或由橡胶状材料构成。

13.权利要求12的方法，其中所述橡胶状材料包括基于硅氧烷的聚合物或由基于硅氧烷的聚合物构成。

14.权利要求7-10中任一项的方法，进一步包括将所述压印印模（100）固定在刚性载体（160）上。

15.权利要求1至6中任一项的压印印模用于印刷工艺的用途，其中所述印刷工艺优选地是微接触印刷工艺或压印工艺。

16.一种压印的方法，包括下列步骤：

- 在衬底的轮廓化表面（10）之上提供图案前体层（14）；

- 将根据权利要求1-6中任一项的压印印模（100）应用到所述图案前体层（14），使得所述压印印模的所述轮廓化表面至少部分地匹配所述衬底的所述轮廓化表面，并且所述图案前体层变得被压印有所述浮雕图案；

- 将所述图案前体层凝固到凝固的图案层（16，18）中，同时所述压印印模被应用到所述衬底的所述轮廓化表面；

- 从所述凝固的图案层移除所述压印印模。