[发明专利]用于补偿由光谱仪系统产生的干涉图的时间周期扰动的光谱仪系统和方法有效
申请号: | 201580070440.7 | 申请日: | 2015-02-02 |
公开(公告)号: | CN107407601B | 公开(公告)日: | 2021-01-05 |
发明(设计)人: | S·K·安徒生;M·L·安徒生 | 申请(专利权)人: | 福斯分析仪器公司 |
主分类号: | G01J3/45 | 分类号: | G01J3/45;G01J3/453 |
代理公司: | 余姚德盛专利代理事务所(普通合伙) 33239 | 代理人: | 郑洪成 |
地址: | 丹麦*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 补偿 光谱仪 系统 产生 干涉 时间 周期 扰动 方法 | ||
1.光谱仪系统(2),包括:扫描干涉仪(4);驱动系统(6),其机械地耦合到所述扫描干涉仪(4)的可移动反射器元件(14)并且可操作以实现所述可移动反射器元件(14)的往复运动;检测器装置(8),被配置为以等距时间间隔对由所述扫描干涉仪(4)形成的干涉图进行采样以产生采样干涉图;以及数据处理器(10),适于获取采样干涉图并对其执行傅里叶变换操作;其中所述驱动系统(6)可操作以实现所述可移动反射器元件(14)以多个不同的速度往复运动,并且其中所述数据处理器(10)适于在所述多个不同速度中的每一个处采集采样干涉图并且执行通过对每个采样干涉图执行所述傅里叶变换操作所产生的多个采样干涉图的强度谱的内容的相对比较。
2.根据权利要求1所述的光谱仪系统(2),其中所述驱动系统(6)可操作以实现所述可移动反射器元件(14)以三种不同的速度往复运动。
3.根据权利要求2所述的光谱仪系统(2),其中所述数据处理器(10)适于执行所述相对比较以确定每个强度谱的加权,并且生成形成为强度谱的加权平均值的校正强度谱。
4.用于校正在根据前述权利要求中任一项所述的光谱仪系统(2)中生成的干涉图中的时间周期性扰动的方法,包括以下步骤:收集(42)将由数据处理器(10)访问的多个(i)采样干涉图,其中每个采样干涉图是在可移动反射器元件(14)的多个(i)不同的往复运动速度中的不同的一个速度下获得的;在所述数据处理器中对多个(i)采样干涉图中的每一个执行傅里叶变换操作(44)以产生多个(i)强度谱(S1(Ʋ);S2(Ʋ);S3(Ʋ)...Si(Ʋ));在所述数据处理器(10)中比较(46)多个强度谱(S1(Ʋ);S2(Ʋ);S3(Ʋ)...Si(Ʋ));并产生(48)校正强度谱(SLMMSE(Ʋ))。
5.根据权利要求4所述的方法,其中存储每个频谱与平均频谱的相似度作为每个强度谱(S1(Ʋ);S2(Ʋ);S3(v)...Si(Ʋ))的加权SMi,以便由所述数据处理器(10)访问,并且其中产生(48)校正强度谱(SLMMSE(Ʋ))作为多个强度谱(S1(Ʋ);S2(Ʋ);S3(Ʋ)...Si(Ʋ))的加权平均值。
6.根据权利要求5所述的方法,其中,每个强度谱的加权SMi表示每个频谱与平均频谱的相似度,而且在所述数据处理器(10)中计算平均强度谱(S(Ʋ))作为多个强度谱(S1(Ʋ);S2(Ʋ);S3(Ʋ)...Si(Ʋ))中的多个的均值。
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