[发明专利]用于对大面积的基板覆层的CVD或PVD反应器

权利要求书

1.一种CVD或PVD覆层装置，具有壳体(1、2)和固定在壳体(1、2)上的具有进气机构(7)的组件(23)，所述进气机构(7)具有具备排气口(8)的、在排气平面内延伸的排气面(7’)，所述组件(23)通过固定件(13、14)固定在壳体(1)的上部区段中的多个悬挂位置(6’)上，其中，设有调温件(9)，所述进气机构(7)借助所述调温件(9)能够从与壳体(1、2)温度相当的第一温度调温至与壳体温度不同的第二温度，其中，所述固定件(13、14)具有力传递件(26.1、26.2、26.3、26.4；27、28、29)，当由于调温导致组件(23)的尺寸发生变化时，所述力传递件发生变形或相对移动，其特征在于，所述组件包括固持装置(3)，所述进气机构(7)借助多个在整个水平的延伸面上分散布置的悬吊件(6)固定在所述固持装置(3)上，并且所述固持装置(3)通过所述力传递件(26.1、26.2、26.3、26.4；27、28、29)固定在所述壳体(1)上。

2.根据权利要求1所述的CVD或PVD覆层装置，其特征在于，所述固持装置(3)仅在其水平边缘(3’)上固定在所述壳体(1、2)上。

3.根据权利要求1所述的CVD或PVD覆层装置，其特征在于，所述固持装置(3)通过可弹性变形的力传递件(26.1、26.2、26.4)固定在所述壳体(1、2)上，所述力传递件具有主变形方向，所述主变形方向指向组件(23)的水平的面重心(M)。

4.根据权利要求1所述的CVD或PVD覆层装置，其特征在于，所述悬吊件(6)沿竖向从悬挂位置(6)延伸至固持装置(3)。

5.根据权利要求1所述的CVD或PVD覆层装置，其特征在于，在所述进气机构(7)与固持装置(3)之间的竖向间距内布置有调温装置(11、12)和/或一个或多个隔热件(10、11)。

6.根据权利要求1所述的CVD或PVD覆层装置，其特征在于，所述固定件(13、14、13.1、13.2、13.3、13.4)在具有矩形基础面的组件(23)的边缘上布置在多角形的角点上。

7.根据权利要求1所述的CVD或PVD覆层装置，其特征在于，至少一个力传递件是可弹性变形的弯曲元件(26.1、26.2、26.4)。

8.根据权利要求7所述的CVD或PVD覆层装置，其特征在于，所述力传递件(26.1、26.2)是矩形板，或者所述弯曲元件(26.4)是实心或中空的杆件，或者所述弯曲元件是缆索。

9.根据权利要求1至6中任一项所述的CVD或PVD覆层装置，其特征在于，至少一个力传递件(13.3)具有相互滚动的元件(27、28、29)。

10.根据权利要求9所述的CVD或PVD覆层装置，其特征在于，在相互滚动的元件中的第一元件(27)牢固地固定在所述壳体(1、2)上，第二元件(29)牢固地固定在所述组件上，并且至少一个第三元件(28)将第一和第二元件(27、29)相连。

11.根据权利要求9所述的CVD或PVD覆层装置，其特征在于，相互滚动的元件(27、28、29)是链节。

12.根据权利要求1所述的CVD或PVD覆层装置，其特征在于，所述力传递件是中间元件(26.1、26.3、26.4)，至少一个布置在角区域中的固定元件(24.1、24.2、24.3、24.4)通过所述中间元件固定在被紧固在所述组件(23)上的固定元件(25.1、25.3、25.4)上。

13.根据权利要求1所述的CVD或PVD覆层装置，其特征在于，弯曲元件(26.4)利用其固定在组件侧的固定元件(25.4)上的端部能够在水平面中相对于其固定在壳体侧的固定元件(24.4)上的端部弯曲弹性地移动。