[发明专利]空气清洁系统

说明书

提供一种空气清洁系统，其包括：第一反应器，其具有第一入口和第一出口，并在其中形成有通道；第一水分吸附过滤器和第一水溶性气体污染物吸附过滤器，它们设置在第一反应器内部并被设置成使得气体在沿着通道从第一入口流向第一出口时依次从它们中通过；多个第一磁控管，其设置在第一反应器的侧部，以分别对应于第一水分吸附过滤器和第一水溶性气体污染物吸附过滤器并且选择性地将微波施加至第一水分吸附过滤器和第一水溶性气体污染物吸附过滤器；换热器，其接收含有从第一水分吸附过滤器和第一水溶性气体污染物吸附过滤器解吸并从第一出口排出的水分和水溶性气体污染物的热空气，将水分冷凝成水，并且将水溶性气体污染物溶解在冷凝水中并排出。根据本发明，空气清洁系统能够将除湿工序和水溶性气体污染物去除工序联合，以简化空气清洁工序；通过引入微波和换热器而将废热回收和再循环，从而有助于节能；并被半永久地使用而不需要定期更换过滤器。

技术领域

本发明涉及一种空气清洁系统，更具体地，涉及一种能够以节能方式同时去除对人体有害的水溶性气体和水分的空气清洁系统。

背景技术

通常，诸如半导体或液晶显示器(LCD)等元件在具有高洁净度的洁净室中制造。半导体和LCD的质量对制造过程中的湿度和污染物的影响敏感。因此，必须通过引入清洁室中的空气介质来防止诸如灰尘等污染物的流入，并必须将引入的空气的温度和湿度调节到最佳条件(12℃和50％)。同时，在半导体或LCD制造过程中大部分(约90％)的能量是电力，空气调节设备占电力的40％。空气调节设备所消耗的大部分电力用于运行外部空气调节单元(其用于处理引入洁净室中的外部空气)。因此，仅仅通过减少外部空气调节单元中使用的电力可以预期得到非常高的节能效果。

同时，为了调节半导体或LCD制造过程中的湿度，目前使用除湿系统。这种除湿系统使用陶瓷纸吸附转子周期性地重复吸附/脱附水分(H₂O)，以保持恒定的温度和湿度。具体地，陶瓷纸吸附转子通过用温度为150℃以上的热风将吸附的H₂O解吸而得以再生，因此能量效率低。因此，迫切需要开发用于提供高能效和优异的除湿性能的技术。

当在半导体或LCD制造过程中引入空气中含有的对人体有害的水溶性气体时，对生产效率有很大影响。目前，使用了采用活性炭类吸附剂以去除这种对人体有害的水溶性气体的化学过滤器系统。然而，存在如下问题：当吸附剂超过有效容量时，应更换化学过滤系统。此外，如果将从化学过滤器系统解吸的水溶性气体污染物捕集、浓缩并除去，则存在需要单独的处理过程和设备的问题，并且需要用于储存气态污染物的巨大设备。

通过这种方式，目前将利用除湿系统和化学过滤系统的双重系统应用于洁净室，这并非节能。此外，存在应该定期更换化学过滤器系统的问题。

发明内容

技术问题

因此，本发明的目的是提供一种半永久性空气清洁系统，其将除湿系统和化学过滤器系统联合，采用低能耗手段，通过回收废热来减少能量，特别地，消除了对定期更换化学过滤器系统的需求。

然而，本公开要解决的问题不限于上述问题，本领域技术人员从下面的描述中能够清楚地理解其它未提及的问题。

问题的技术方案

为了实现上述目的，根据本发明的一个方面，提供一种空气清洁系统，其包括：第一反应器，其具有第一入口和第一出口，并且在其中形成有通道；第一水分吸附过滤器和第一水溶性气体污染物吸附过滤器，它们设置在第一反应器内部并被设置成使得气体在沿着通道从第一入口流向第一出口时依次从它们中通过；多个第一磁控管，其设置在第一反应器的侧部，以分别对应于第一水分吸附过滤器和第一水溶性气体污染物吸附过滤器，并且选择性地将微波施加至第一水分吸附过滤器和第一水溶性气体污染物吸附过滤器；和换热器，其接收含有从第一水分吸附过滤器和第一水溶性气体污染物吸附过滤器解吸并从第一出口排出的水分和水溶性气体污染物的热空气，将水分冷凝成水，并将水溶性气体污染物溶解在冷凝水中并排出。