[发明专利]具有末端执行器位置估计的机器人自适应放置系统

权利要求书

1.一种用于控制机器人的方法，包括：

在所述机器人的运动期间，通过外部传感器感测基板的边缘，其中所述基板在所述机器人的末端执行器上；

当所述外部传感器感测所述基板的所述边缘时，由控制器计算所述末端执行器的末端执行器坐标，其中提供有自适应放置系统，所述自适应放置系统被配置为使用由所述外部传感器对所述基板的所述感测以及使用所计算的末端执行器坐标，以控制所述基板在期望位置处的放置；

通过所述控制器估计所述机器人的至少一个构件在所述机器人的移动期间的偏差；

至少部分地基于所估计的偏差和所计算的末端执行器坐标，通过所述控制器确定用于所述机器人的所述末端执行器的估计的末端执行器坐标；

至少部分地基于由所述控制器确定的所述估计的末端执行器坐标，通过所述自适应放置系统调整用于将所述基板放置在期望位置处的所述机器人的移动。

2.根据权利要求1所述的方法，其中通过所述控制器进行的所述估计至少部分地基于到所述机器人的至少一个电机的命令传输，其中所述命令传输包括命令转矩传输，所述命令转矩传输被传送到所述至少一个电机以生成预先确定的转矩矢量。

3.根据权利要求1所述的方法，其中针对所述机器人的所述至少一个构件的所估计的偏差包括以下至少一项：

所述机器人的驱动部分的柔性框架构件，

所述至少一个电机的柔性驱动轴，

所述机器人的臂的柔性连杆，

所述机器人的所述臂的连杆之间的柔性接头，以及

所述机器人的所述臂的弹性皮带或条带。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述估计包括以下至少一项：

使用动态建模来估计柔性效应，

使用状态观测器来估计柔性效应，

估计皮带定位误差效应，以及

使用至少一个辅助传感器来直接测量柔性效应。

5.根据权利要求1所述的方法，其中所述偏差的所述估计至少部分地基于来自至少一个传感器的、关于以下各项中的至少一项的位置信息：

所述机器人的一部分，以及

由所述机器人承载的所述基板。

6.根据权利要求1所述的方法，其中所述机器人的移动的所述调整包括：向所述自适应放置系统(APS)提供所述估计的末端执行器坐标，以确定要用于驱动所述机器人的至少一个电机的调整后的末端执行器坐标。

7.根据权利要求1所述的方法，其中所计算的末端执行器坐标被提供给机器人位置感测系统和/或基板位置感测系统，所述机器人位置感测系统和/或基板位置感测系统随后向所述自适应放置系统(APS)提供所述估计的末端执行器坐标，以确定要用于驱动所述机器人的至少一个电机的调整后的末端执行器坐标。

8.一种用于控制机器人的装置，包括：

至少一个处理器；以及

包括计算机程序代码的至少一个非暂态存储器，所述至少一个非暂态存储器和所述计算机程序代码被配置成与所述至少一个处理器一起使得所述装置：

当外部传感器感测基板的边缘时，计算所述机器人的末端执行器的末端执行器坐标，其中所述基板在所述末端执行器上，并且其中提供有自适应放置系统，所述自适应放置系统被配置为使用由所述外部传感器对所述基板的所述感测以及使用所计算的所述末端执行器坐标，以控制所述基板在期望位置处的放置；

估计所述机器人的至少一个构件在所述机器人的移动期间的偏差；

至少部分地基于所估计的偏差和所计算的末端执行器坐标，确定用于所述机器人的所述末端执行器的估计的末端执行器坐标；以及

至少部分地基于由所述装置确定的所述估计的末端执行器坐标，通过所述自适应放置系统，调整用于将所述基板放置在期望位置处的所述机器人的移动。

9.根据权利要求8所述的装置，其中所述偏差的所述估计包括：到所述机器人的至少一个电机的命令传输被用作输入以估计所述偏差，并且其中所述命令传输包括命令转矩传输，所述命令转矩传输被传送到所述至少一个电机以生成预先确定的转矩矢量。