[发明专利]用于电致变色装置的对电极

权利要求书

1.一种制作电致变色堆叠的方法，所述方法包括：

形成包含阴极着色电致变色材料的阴极着色层；和

形成阳极着色层，所述阳极着色层包含氧化镍钨钽(NiWTaO)，其中所述氧化镍钨钽具有介于约1.8:1与3:1之间的Ni:(W+Ta)原子比，且具有介于约1:1与2:1之间的W:Ta原子比，

其中所述阳极着色层包括具有不同组成和/或不同相对浓度的两个或更多个子层，且

其中第一子层包含二元金属氧化物且第二子层包含三元金属氧化物。

2.如权利要求1所述的方法，其中所述NiWTaO具有介于约1.8:1与2.5:1之间的Ni:(W+Ta)原子比。

3.如权利要求2所述的方法，其中所述NiWTaO具有介于约2:1与2.5:1之间的Ni:(W+Ta)原子比。

4.如权利要求1所述的方法，其中所述NiWTaO具有介于约2:1与3:1之间的Ni:(W+Ta)原子比。

5.如权利要求1所述的方法，其中形成所述阳极着色层包括溅射一个或多个溅射靶以形成所述NiWTaO。

6.如权利要求5所述的方法，其中所述一个或多个的所述溅射靶中的至少一个包含选自镍、钨和钽的元素金属。

7.如权利要求5所述的方法，其中所述一个或多个的所述溅射靶中的至少一个包含含选自镍、钨和钽的两种或更多种金属的合金。

8.如权利要求5所述的方法，其中所述一个或多个的所述溅射靶中的至少一个包含氧化物。

9.如权利要求1所述的方法，其中所述阳极着色层是基本上无定形的。

10.如权利要求1所述的方法，其中将所述阴极着色层和所述阳极着色层形成为彼此直接物理接触，不在其间沉积单独的离子导体层。

11.如权利要求1所述的方法，其中所述两个或更多个子层具有不同形态。

12.如权利要求1所述的方法，其中所述阴极着色电致变色材料包括氧化钨(WO_x)。

13.如权利要求12所述的方法，其中x小于3.0。

14.如权利要求13所述的方法，其中x为至少约2.7。

15.如权利要求1所述的方法，其中所述阴极着色层包括双层或渐变层，且其中所述阴极着色层的一部分相对于氧是超化学计量的。

16.一种电致变色堆叠，其包括：

包含阴极着色材料的阴极着色层；和

阳极着色层，所述阳极着色层包含氧化镍钨钽(NiWTaO)，

其中所述氧化镍钨钽具有介于约1.8:1与3:1之间的Ni:(W+Ta)原子比，且具有介于约1:1与2:1之间的W:Ta原子比，

其中所述阳极着色层包括具有不同组成和/或不同相对浓度的两个或更多个子层，且

其中第一子层包含二元金属氧化物且第二子层包含三元金属氧化物。

17.如权利要求16所述的电致变色堆叠，其中所述NiWTaO具有介于约1.8:1与2.5:1之间的Ni:(W+Ta)原子比。

18.如权利要求17所述的电致变色堆叠，其中所述NiWTaO具有介于约2:1与2.5:1之间的Ni:(W+Ta)原子比。

19.如权利要求16所述的电致变色堆叠，其中所述NiWTaO具有介于约2:1与3:1之间的Ni:(W+Ta)原子比。