[发明专利]有机电子元件的制造方法有效
| 申请号： | 201580072619.6 | 申请日： | 2015-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN107211501B | 公开（公告）日： | 2020-01-07 |
| 发明（设计）人： | 松本康男 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | H05B33/10 | 分类号： | H05B33/10;B05D1/26;H01L21/336;H01L29/786;H01L51/48;H01L51/50 |
| 代理公司： | 11021 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 蒋亭 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 有机 电子元件 制造 方法 | ||
1.一种有机电子元件的制造方法，所述有机电子元件具有包含有机材料的功能层，
所述有机电子元件的制造方法的特征在于，
包括涂布工序，在该涂布工序中，使用辊对辊方式水平输送具有挠性的基材，由配置于所述基材的上方的狭缝式涂布器将包含所述有机材料的涂布液涂布于所述基材来形成所述功能层，
在所述涂布工序中，由配置于所述基材的下方的气浮式工作台来使至少配置于所述狭缝式涂布器的下方的所述基材浮起，而将所述涂布液涂布于所述基材，
所述基材的上下的振动量为±35μm以下。
2.根据权利要求1所述的有机电子元件的制造方法，其中，
所述气浮式工作台由多孔质材料构成。
3.根据权利要求1所述的有机电子元件的制造方法，其中，
所述气浮式工作台与所述基材的间隔为30μm以上且1mm以下。
4.根据权利要求1所述的有机电子元件的制造方法，其中，
所述涂布液的粘度为1cp以上且20cp以下。
5.根据权利要求1所述的有机电子元件的制造方法，其中，
所述基材的拉伸力为20N以上且150N以下。
6.根据权利要求1所述的有机电子元件的制造方法，其中，
所述气浮式工作台产生的空气的风速为0.001m/sec.以上且0.3m/sec.以下。
7.根据权利要求1～6中任一项所述的有机电子元件的制造方法，其中，
所述有机电子元件为有机EL元件。
8.根据权利要求1～6中任一项所述的有机电子元件的制造方法，其中，
所述有机电子元件为有机太阳能电池。
9.根据权利要求1～6中任一项所述的有机电子元件的制造方法，其中，
所述有机电子元件为有机晶体管。
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