[发明专利]使用多个焦点来进行对透明制品的激光加工

权利要求书

1.一种用于加工透明制品的方法，包括：

沿着共同路径共线地会聚第一激光束和第二激光束，所述第一激光束的第一焦点和所述第二激光束的第二焦点沿着所述共同路径彼此偏离；

在第一遍中移动所述共线会聚的第一和第二激光束横跨透明制品的至少一部分以便在所述透明制品中在距离所述透明制品的表面与所述第一焦点相对应的第一深度以及在距离所述透明制品的所述表面与所述第二焦点相对应的第二深度处形成第一缺陷串列；

调整所述第一焦点和所述第二焦点中的至少一个焦点；以及

在第二遍中移动所述共线会聚的第一和第二激光束横跨所述透明制品的所述部分以便在所述透明制品中在距离所述透明制品的所述表面与所述第一焦点相对应的第三深度以及距离所述透明制品的所述表面与所述第二焦点相对应的第四深度处形成第二缺陷串列，所述第一缺陷串列与所述第二缺陷串列交错。

2.如权利要求1所述的方法，进一步包括沿着所述第一和第二缺陷串列分离所述透明制品的步骤。

3.如权利要求1所述的方法，其中，在与所述第一激光束共线地会聚之前所述第二激光束穿过至少两个透镜，并且调整所述第一和第二焦点包括调整所述至少两个透镜之间的距离。

4.如权利要求1至3中任一项所述的方法，进一步包括：

使用激光器来生成初始激光束，所述初始激光束被配置成用于沿着第一路径投射；

使用偏振分束器来分割所述初始激光束，所述偏振分束器布置在所述第一路径中并且被配置成用于沿着所述第一路径引导所述第一激光束并且沿着从所述第一路径发散的第二路径引导所述第二激光束。

5.如权利要求4所述的方法，进一步包括：调整所述初始激光束的偏振角，由此响应于所述调整所述初始激光束的所述偏振角而改变所述第一和第二激光束中的至少一者的功率输出。

6.如权利要求5所述的方法，其中，所述第一和第二激光束的平均功率由于所述调整所述初始激光束的所述偏振角而更接近于相等。

7.如权利要求1至3中任一项所述的方法，其中，所述第一缺陷串列中的至少一个缺陷被布置成比所述第二缺陷串列中的至少一个缺陷更靠近所述表面。

8.如权利要求1至3中任一项所述的方法，其中，所述第三深度和所述第四深度中的至少一个深度比所述第一深度更远离所述表面。

9.一种用于加工透明制品的方法，包括：

使用激光器来生成初始激光束，所述初始激光束被配置成用于沿着第一路径投射；

使用偏振分束器来分割所述初始激光束，所述偏振分束器被布置在所述第一路径中以便沿着所述第一路径引导第一激光束并且沿着从所述第一路径发散的第二路径引导第二激光束，所述第一激光束具有沿着所述第一路径的第一焦点并且所述第二激光束具有沿着所述第二路径的第二焦点；

使所述第一和第二激光束穿过共同聚焦透镜以便将所述第一和第二激光束聚焦到透明制品上；

移动所述第一和第二激光束横跨所述透明制品以便在所述透明制品中形成第一和第二缺陷串列，所述第一缺陷串列处于第一横向位置以及距离所述透明制品的表面的第一深度处，所述第二缺陷串列处于与所述第一横向位置偏离的第二横向位置以及距离所述透明制品的所述表面与所述第一深度偏离的第二深度处，所述第一横向位置和所述第一深度与所述第一焦点相对应，并且所述第二横向位置和所述第二深度与所述第二焦点相对应；以及

移动所述第一和第二激光束横跨所述透明制品以便在所述透明制品中形成第三和第四缺陷串列，所述第三缺陷串列处于第三横向位置以及距离所述透明制品的所述表面的第三深度处，所述第四缺陷串列处于与所述第三横向位置偏离的第四横向位置以及距离所述透明制品的所述表面与所述第三深度偏离的第四深度处，所述第三横向位置和所述第三深度与所述第一焦点相对应，并且所述第四横向位置和所述第四深度与所述第二焦点相对应。

10.如权利要求9所述的方法，进一步包括沿着所述第一和第二缺陷串列分离所述透明制品的步骤。