[发明专利]测试分选机用加压装置

权利要求书

1.一种测试分选机用加压装置，包括：

推压部，用于对半导体器件进行加压，使得半导体器件与测试仪电连接；

设置板，用于设置上述推压部；

弹性部件，用于相对于上述设置板弹性支撑上述推压部；

冷却模块，用于向上述推压部与位于前方的半导体器件相接触的上述推压部的接触部分供给冷气；以及

驱动源，通过向前方推动或向后方拉动上述设置板来使上述推压部对半导体器件进行加压或解除加压，

上述推压部的内部具有冷却空间，用于向上述接触部分传送通过上述冷却模块供给的冷气，

上述冷却空间向后方开放，

其中，上述冷却模块包括：

冷却块，具有用于使制冷剂流动的制冷剂流路；以及

加热管，前端通过上述冷却空间与上述接触部分侧相接触，后端与上述制冷剂流路侧相接触，

其特征在于，上述冷却模块还包括插入于上述冷却空间的传导性材质的传导部件，上述传导部件的前端与上述接触部分相接触，后端具有能够把持上述加热管的前端的把持槽，上述加热管的前端插入于上述把持槽，

在上述加热管的外侧形成有流体流路。

2.根据权利要求1所述的测试分选机用加压装置，其特征在于，上述冷却模块还包括：

弹性垫，用于弹性支撑上述冷却块的前端；

弹性支撑体，用于弹性支撑上述冷却块的后端；以及

设置块，用于使上述弹性垫和上述弹性支撑体以能够移动的方式支撑上述冷却块。

3.根据权利要求2所述的测试分选机用加压装置，其特征在于，上述冷却模块还包括结合部件，上述结合部件用于使上述弹性支撑体以结合的方式设置于上述设置块。

4.根据权利要求1所述的测试分选机用加压装置，其特征在于，上述冷却模块还包括包围上述加热管的外部面的隔热材质的隔热部件。

5.根据权利要求1所述的测试分选机用加压装置，其特征在于，上述推压部的至少一部分由非金属性隔热材质形成。