[发明专利]用于气相沉积含锆膜的含锆膜形成组合物

权利要求书

1.一种含锆膜形成组合物，包含具有下式之一的含硅和锗的前体：

其中R¹、R²、R³、R⁴、R⁵、R⁶、R⁷、R⁸、R⁹和R¹⁰各自独立地选自H；C1-C5直链、支链或环状烷基；或C1-C5直链、支链或环状氟烷基。

2.如权利要求1所述的含锆膜形成组合物，该前体具有式I：

3.如权利要求2所述的含锆膜形成组合物，其中该前体选自下组，该组由以下各项组成：(三甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(二甲基氨基)锆(IV)(Zr(TMS-Cp)(NMe₂)₃)；(三甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(甲基氨基)锆(IV)(Zr(TMS-Cp)(NHMe)₃)；(三甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(二乙基氨基)锆(IV)(Zr(TMS-Cp)(NEt₂)₃)；(三甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(乙基氨基)锆(IV)(Zr(TMS-Cp)(NHEt)₃)；(三甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(乙基甲基氨基)锆(IV)(Zr(TMS-Cp)(NEtMe)₃)；(三甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(二正丙基氨基)锆(IV)(Zr(TMS-Cp)(NnPr₂)₃)；(三甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(正丙基氨基)锆(IV)(Zr(TMS-Cp)(NHnPr)₃)；(三甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(二异丙基氨基)锆(IV)(Zr(TMS-Cp)(NiPr₂)₃)；(三甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(异丙基氨基)锆(IV)(Zr(TMS-Cp)(NHiPr)₃)；(三甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(二正丁基氨基)锆(IV)(Zr(TMS-Cp)(NnBu₂)₃)；(三甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(正丁基氨基)锆(IV)(Zr(TMS-Cp)(NHnBu)₃)(三甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(二异丁基氨基)锆(IV)(Zr(TMS-Cp)(NiBu₂)₃)；(三甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(异丁基氨基)锆(IV)(Zr(TMS-Cp)(NHiBu)₃)；(三甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(二仲丁基氨基)锆(IV)(Zr(TMS-Cp)(NsBu₂)₃)；(三甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(仲丁基氨基)锆(IV)(Zr(TMS-Cp)(NHsBu)₃)；(三甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(二叔丁基氨基)锆(IV)(Zr(TMS-Cp)(NtBu₂)₃)；(三甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(叔丁基氨基)锆(IV)(Zr(TMS-Cp)(NHtBu)₃)；(二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(二甲基氨基)锆(IV)(Zr(DMS-Cp)(NMe₂)₃)；(二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(甲基氨基)锆(IV)(Zr(DMS-Cp)(NHMe)₃)；(二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(二乙基氨基)锆(IV)(Zr(DMS-Cp)(NEt₂)₃)；(二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(乙基氨基)锆(IV)(Zr(DMS-Cp)(NHEt)₃)；(二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(乙基甲基氨基)锆(IV)(Zr(DMS-Cp)(NEtMe)₃)；(二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(二正丙基氨基)锆(IV)(Zr(DMS-Cp)(NnPr₂)₃)；(二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(正丙基氨基)锆(IV)(Zr(DMS-Cp)(NHnPr)₃)；(二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(二异丙基氨基)锆(IV)(Zr(DMS-Cp)(NiPr₂)₃)；(二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(异丙基氨基)锆(IV)(Zr(DMS-Cp)(NHiPr)₃)；(二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(二正丁基氨基)锆(IV)(Zr(DMS-Cp)(NnBu₂)₃)；(二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(正丁基氨基)锆(IV)(Zr(DMS-Cp)(NHnBu)₃)；(二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(二异丁基氨基)锆(IV)(Zr(DMS-Cp)(NiBu₂)₃)；(二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(异丁基氨基)锆(IV)(Zr(DMS-Cp)(NHiBu)₃)；(二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(二仲丁基氨基)锆(IV)(Zr(DMS-Cp)(NsBu₂)₃)；(二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(仲丁基氨基)锆(IV)(Zr(DMS-Cp)(NHsBu)₃)；(二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(二叔丁基氨基)锆(IV)(Zr(DMS-Cp)(NtBu₂)₃)；(二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(叔丁基氨基)锆(IV)(Zr(DMS-Cp)(NHtBu)₃)；(三氟甲硅烷基)环戊二烯基三(二甲基氨基)锆(IV)(Zr(F₃Si-Cp)(NMe₂)₃)；(三氟甲硅烷基)环戊二烯基三(甲基氨基)锆(IV)(Zr(F₃Si-Cp)(NHMe)₃)；(三氟甲硅烷基)环戊二烯基三(二乙基氨基)锆(IV)(Zr(F₃Si-Cp)(NEt₂)₃)；(三氟甲硅烷基)环戊二烯基三(乙基氨基)锆(IV)(Zr(F₃Si-Cp)(NHEt)₃)；(三氟甲硅烷基)环戊二烯基三(乙基甲基氨基)锆(IV)(Zr(F₃Si-Cp)(NEtMe)₃)；(三氟甲硅烷基)环戊二烯基三(二正丙基氨基)锆(IV)(Zr(F₃Si-Cp)(NnPr₂)₃)；(三氟甲硅烷基)环戊二烯基三(正丙基氨基)锆(IV)(Zr(F₃Si-Cp)(NHnPr)₃)(三氟甲硅烷基)环戊二烯基三(二异丙基氨基)锆(IV)(Zr(F₃Si-Cp)(NiPr₂)₃)；(三氟甲硅烷基)环戊二烯基三(异丙基氨基)锆(IV)(Zr(F₃Si-Cp)(NHiPr)₃)；(三氟甲硅烷基)环戊二烯基三(二正丁基氨基)锆(IV)(Zr(F₃Si-Cp)(NnBu₂)₃)；(三氟甲硅烷基)环戊二烯基三(正丁基氨基)锆(IV)(Zr(F₃Si-Cp)(NHnBu)₃)；(三氟甲硅烷基)环戊二烯基三(二异丁基氨基)锆(IV)(Zr(F₃Si-Cp)(NiBu₂)₃)；(三氟甲硅烷基)环戊二烯基三(异丁基氨基)锆(IV)(Zr(F₃Si-Cp)(NHiBu)₃)；(三氟甲硅烷基)环戊二烯基三(二仲丁基氨基)锆(IV)(Zr(F₃Si-Cp)(NsBu₂)₃)；(三氟甲硅烷基)环戊二烯基三(仲丁基氨基)锆(IV)(Zr(F₃Si-Cp)(NHsBu)₃)；(三氟甲硅烷基)环戊二烯基三(二叔丁基氨基)锆(IV)(Zr(F₃Si-Cp)(NtBu₂)₃)；(三氟甲硅烷基)环戊二烯基三(叔丁基氨基)锆(IV)(Zr(F₃Si-Cp)(NHtBu)₃)；(二氟甲硅烷基)环戊二烯基三(二甲基氨基)锆(IV)(Zr(F₂HSi-Cp)(NMe₂)₃)；(二氟甲硅烷基)环戊二烯基三(甲基氨基)锆(IV)(Zr(F₂HSi-Cp)(NHMe)₃)；(二氟甲硅烷基)环戊二烯基三(二乙基氨基)锆(IV)(Zr(F₂HSi-Cp)(NEt₂)₃)；(二氟甲硅烷基)环戊二烯基三(乙基氨基)锆(IV)(Zr(F₂HSi-Cp)(NHEt)₃)；(二氟甲硅烷基)环戊二烯基三(乙基甲基氨基)锆(IV)(Zr(F₂HSi-Cp)(NEtMe)₃)；(二氟甲硅烷基)环戊二烯基三(二正丙基氨基)锆(IV)(Zr(F₂HSi-Cp)(NnPr₂)₃)；(二氟甲硅烷基)环戊二烯基三(正丙基氨基)锆(IV)(Zr(F₂HSi-Cp)(NHnPr)₃)；(二氟甲硅烷基)环戊二烯基三(二异丙基氨基)锆(IV)(Zr(F₂HSi-Cp)(NiPr₂)₃)；(二氟甲硅烷基)环戊二烯基三(异丙基氨基)锆(IV)(Zr(F₂HSi-Cp)(NHiPr)₃)；(二氟甲硅烷基)环戊二烯基三(二正丁基氨基)锆(IV)(Zr(F₂HSi-Cp)(NnBu₂)₃)；(二氟甲硅烷基)环戊二烯基三(正丁基氨基)锆(IV)(Zr(F₂HSi-Cp)(NHnBu)₃)；(二氟甲硅烷基)环戊二烯基三(二异丁基氨基)锆(IV)(Zr(F₂HSi-Cp)(NiBu₂)₃)；(二氟甲硅烷基)环戊二烯基三(异丁基氨基)锆(IV)(Zr(F₂HSi-Cp)(NHiBu)₃)；(二氟甲硅烷基)环戊二烯基三(二仲丁基氨基)锆(IV)(Zr(F₂HSi-Cp)(NsBu₂)₃)；(二氟甲硅烷基)环戊二烯基三(仲丁基氨基)锆(IV)(Zr(F₂HSi-Cp)(NHsBu)₃)；(二氟甲硅烷基)环戊二烯基三(二叔丁基氨基)锆(IV)(Zr(F₂HSi-Cp)(NtBu₂)₃)；(二氟甲硅烷基)环戊二烯基三(叔丁基氨基)锆(IV)(Zr(F₂HSi-Cp)(NHtBu)₃)；(一氟甲硅烷基)环戊二烯基三(二甲基氨基)锆(IV)(Zr(FH₂Si-Cp)(NMe₂)₃)；(一氟甲硅烷基)环戊二烯基三(甲基氨基)锆(IV)(Zr(FH₂Si-Cp)(NHMe)₃)；(一氟甲硅烷基)环戊二烯基三(二乙基氨基)锆(IV)(Zr(FH₂Si-Cp)(NEt₂)₃)；(一氟甲硅烷基)环戊二烯基三(乙基氨基)锆(IV)(Zr(FH₂Si-Cp)(NHEt)₃)；(一氟甲硅烷基)环戊二烯基三(乙基甲基氨基)锆(IV)(Zr(FH₂Si-Cp)(NEtMe)₃)；(一氟甲硅烷基)环戊二烯基三(二正丙基氨基)锆(IV)(Zr(FH₂Si-Cp)(NnPr₂)₃)；(一氟甲硅烷基)环戊二烯基三(正丙基氨基)锆(IV)(Zr(FH₂Si-Cp)(NHnPr)₃)；(一氟甲硅烷基)环戊二烯基三(二异丙基氨基)锆(IV)(Zr(FH₂Si-Cp)(NiPr₂)₃)；(一氟甲硅烷基)环戊二烯基三(异丙基氨基)锆(IV)(Zr(FH₂Si-Cp)(NHiPr)₃)；(一氟甲硅烷基)环戊二烯基三(二正丁基氨基)锆(IV)(Zr(FH₂Si-Cp)(NnBu₂)₃)；(一氟甲硅烷基)环戊二烯基三(正丁基氨基)锆(IV)(Zr(FH₂Si-Cp)(NHnBu)₃)；(一氟甲硅烷基)环戊二烯基三(二异丁基氨基)锆(IV)(Zr(FH₂Si-Cp)(NiBu₂)₃)(一氟甲硅烷基)环戊二烯基三(异丁基氨基)锆(IV)(Zr(FH₂Si-Cp)(NHiBu)₃)；(一氟甲硅烷基)环戊二烯基三(二仲丁基氨基)锆(IV)(Zr(FH₂Si-Cp)(NsBu₂)₃)；(一氟甲硅烷基)环戊二烯基三(仲丁基氨基)锆(IV)(Zr(FH₂Si-Cp)(NHsBu)₃)；(一氟甲硅烷基)环戊二烯基三(二叔丁基氨基)锆(IV)(Zr(FH₂Si-Cp)(NtBu₂)₃)；(一氟甲硅烷基)环戊二烯基三(叔丁基氨基)锆(IV)(Zr(FH₂Si-Cp)(NHtBu)₃)；(氟二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(二甲基氨基)锆(IV)(Zr(FMe₂Si-Cp)(NMe₂)₃)；(氟二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(甲基氨基)锆(IV)(Zr(FMe₂Si-Cp)(NHMe)₃)；(氟二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(二乙基氨基)锆(IV)(Zr(FMe₂Si-Cp)(NEt₂)₃)；(氟二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(乙基氨基)锆(IV)(Zr(FMe₂Si-Cp)(NHEt)₃)；(氟二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(乙基甲基氨基)锆(IV)(Zr(FMe₂Si-Cp)(NEtMe)₃)；(氟二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(二正丙基氨基)锆(IV)(Zr(FMe₂Si-Cp)(NnPr₂)₃)；(氟二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(正丙基氨基)锆(IV)(Zr(FMe₂Si-Cp)(NHnPr)₃)；(氟二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(二异丙基氨基)锆(IV)(Zr(FMe₂Si-Cp)(NiPr₂)₃)；(氟二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(异丙基氨基)锆(IV)(Zr(FMe₂Si-Cp)(NHiPr)₃)；(氟二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(二正丁基氨基)锆(IV)(Zr(FMe₂Si-Cp)(NnBu₂)₃)；(氟二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(正丁基氨基)锆(IV)(Zr(FMe₂Si-Cp)(NHnBu)₃)；(氟二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(二异丁基氨基)锆(IV)(Zr(FMe₂Si-Cp)(NiBu₂)₃)；

(氟二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(异丁基氨基)锆(IV)(Zr(FMe₂Si-Cp)(NHiBu)₃)；(氟二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(二仲丁基氨基)锆(IV)(Zr(FMe₂Si-Cp)(NsBu₂)₃)；(氟二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(仲丁基氨基)锆(IV)(Zr(FMe₂Si-Cp)(NHsBu)₃)；(氟二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(二叔丁基氨基)锆(IV)(Zr(FMe₂Si-Cp)(NtBu₂)₃)；(氟二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(叔丁基氨基)锆(IV)(Zr(FMe₂Si-Cp)(NHtBu)₃)；(三(三氟甲基)甲硅烷基)环戊二烯基三(二甲基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)₃Si-Cp)(NMe₂)₃)；(三(三氟甲基)甲硅烷基)环戊二烯基三(甲基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)₃Si-Cp)(NHMe)₃)；(三(三氟甲基)甲硅烷基)环戊二烯基三(二乙基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)₃Si-Cp)(NEt₂)₃)；(三(三氟甲基)甲硅烷基)环戊二烯基三(乙基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)₃Si-Cp)(NHEt)₃)；(三(三氟甲基)甲硅烷基)环戊二烯基三(乙基甲基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)₃Si-Cp)(NEtMe)₃)；(三(三氟甲基)甲硅烷基)环戊二烯基三(二正丙基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)₃Si-Cp)(NnPr₂)₃)；(三(三氟甲基)甲硅烷基)环戊二烯基三(正丙基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)₃Si-Cp)(NHnPr)₃)；(三(三氟甲基)甲硅烷基)环戊二烯基三(二异丙基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)₃Si-Cp)(NiPr₂)₃)；(三(三氟甲基)甲硅烷基)环戊二烯基三(异丙基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)₃Si-Cp)(NHiPr)₃)；(三(三氟甲基)甲硅烷基)环戊二烯基三(二正丁基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)₃Si-Cp)(NnBu₂)₃)；(三(三氟甲基)甲硅烷基)环戊二烯基三(正丁基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)₃Si-Cp)(NHnBu)₃)；(三(三氟甲基)甲硅烷基)环戊二烯基三(二异丁基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)₃Si-Cp)(NiBu₂)₃)；(三(三氟甲基)甲硅烷基)环戊二烯基三(异丁基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)₃Si-Cp)(NHiBu)₃)；(三(三氟甲基)甲硅烷基)环戊二烯基三(二仲丁基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)₃Si-Cp)(NsBu₂)₃)；(三(三氟甲基)甲硅烷基)环戊二烯基三(仲丁基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)₃Si-Cp)(NHsBu)₃)；(三(三氟甲基)甲硅烷基)环戊二烯基三(二叔丁基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)₃Si-Cp)(NtBu₂)₃)；(三(三氟甲基)甲硅烷基)环戊二烯基三(叔丁基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)₃Si-Cp)(NHtBu)₃)；(二(三氟甲基)甲硅烷基)环戊二烯基三(二甲基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)₂HSi-Cp)(NMe₂)₃)；(二(三氟甲基)甲硅烷基)环戊二烯基三(甲基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)₂HSi-Cp)(NHMe)₃)；(二(三氟甲基)甲硅烷基)环戊二烯基三(二乙基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)₂HSi-Cp)(NEt₂)₃)；(二(三氟甲基)甲硅烷基)环戊二烯基三(乙基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)₂HSi-Cp)(NHEt)₃)；(二(三氟甲基)甲硅烷基)环戊二烯基三(乙基甲基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)₂HSi-Cp)(NEtMe)₃)；(二(三氟甲基)甲硅烷基)环戊二烯基三(二正丙基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)₂HSi-Cp)(NnPr₂)₃)；(二(三氟甲基)甲硅烷基)环戊二烯基三(正丙基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)₂HSi-Cp)(NHnPr)₃)；(二(三氟甲基)甲硅烷基)环戊二烯基三(二异丙基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)₂HSi-Cp)(NiPr₂)₃)；(二(三氟甲基)甲硅烷基)环戊二烯基三(异丙基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)₂HSi-Cp)(NHiPr)₃)；(二(三氟甲基)甲硅烷基)环戊二烯基三(二正丁基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)₂HSi-Cp)(NnBu₂)₃)；(二(三氟甲基)甲硅烷基)环戊二烯基三(正丁基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)₂HSi-Cp)(NHnBu)₃)；(二(三氟甲基)甲硅烷基)环戊二烯基三(二异丁基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)₂HSi-Cp)(NiBu₂)₃)；(二(三氟甲基)甲硅烷基)环戊二烯基三(异丁基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)₂HSi-Cp)(NHiBu)₃)；(二(三氟甲基)甲硅烷基)环戊二烯基三(二仲丁基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)₂HSi-Cp)(NsBu₂)₃)；(二(三氟甲基)甲硅烷基)环戊二烯基三(仲丁基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)₂HSi-Cp)(NHsBu)₃)；(二(三氟甲基)甲硅烷基)环戊二烯基三(二叔丁基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)₂HSi-Cp)(NtBu₂)₃)；(二(三氟甲基)甲硅烷基)环戊二烯基三(叔丁基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)₂HSi-Cp)(NHtBu)₃)；((三氟甲基)二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(二甲基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)Me₂Si-Cp)(NMe₂)₃)；((三氟甲基)二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(甲基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)Me₂Si-Cp)(NHMe)₃)；((三氟甲基)二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(二乙基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)Me₂Si-Cp)(NEt₂)₃)；((三氟甲基)二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(乙基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)Me₂Si-Cp)(NHEt)₃)；((三氟甲基)二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(乙基甲基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)Me₂Si-Cp)(NEtMe)₃)；((三氟甲基)二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(二正丙基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)Me₂Si-Cp)(NnPr₂)₃)；((三氟甲基)二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(正丙基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)Me₂Si-Cp)(NHnPr)₃)；((三氟甲基)二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(二异丙基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)Me₂Si-Cp)(NiPr₂)₃)；((三氟甲基)二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(异丙基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)Me₂Si-Cp)(NHiPr)₃)；((三氟甲基)二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(二正丁基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)Me₂Si-Cp)(NnBu₂)₃)；((三氟甲基)二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(正丁基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)Me₂Si-Cp)(NHnBu)₃)；((三氟甲基)二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(二异丁基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)Me₂Si-Cp)(NiBu₂)₃)；((三氟甲基)二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(异丁基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)Me₂Si-Cp)(NHiBu)₃)；((三氟甲基)二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(二仲丁基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)Me₂Si-Cp)(NsBu₂)₃)；((三氟甲基)二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(仲丁基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)Me₂Si-Cp)(NHsBu)₃)；((三氟甲基)二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(二叔丁基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)Me₂Si-Cp)(NtBu₂)₃)；以及((三氟甲基)二甲基甲硅烷基)环戊二烯基三(叔丁基氨基)锆(IV)(Zr((CF₃)Me₂Si-Cp)(NHtBu)₃)。