[发明专利]具有改进的操作的动态压力传感器

权利要求书

1.一种MEMS和/或NEMS型压力传感器，位于在被称为传感器平面的平面中延伸的基板中，所述压力传感器包括：

-固定部分和相对于所述固定部分可移动的可移动部分，所述可移动部分包括能够在压力变化的作用下在所述传感器平面中移动或者变形的至少一个敏感元件(S，8，108，208)，

-检测装置(D，16，216)，用于检测所述敏感元件由于压力变化而在所述传感器平面中的移动或者变形，

-第一驱动装置(A1，24.1，24.2，24.3，24.4，124，124.1，124.2，224.1，224.2，224.1'，224.2')，用于驱动所述可移动部分，所述第一驱动装置被控制成从动于所述敏感元件(8，108，208)的移动或变形位置，

-第一控制装置(C1)，用于控制所述第一驱动装置，所述第一控制装置被配置成根据所述检测装置发出的信号使所述第一驱动装置极化以从动于所述敏感元件的移动或变形位置，

其中，所述第一驱动装置(24.1，24.2，24.3，24.4，124，124.1，124.2，224.1，224.2，224.1'，224.2')包括至少两对电极，每对电极包括由所述固定部分支撑的固定电极和面对所述固定电极、由所述可移动部分支撑的可移动电极，以及

其中，所述敏感元件(108，208)包括受压力变化影响的面，该面被称为敏感面，并且所述敏感元件(108，208)包括在所述敏感元件的两个平行的壁(108.2，108.3)之间界定的至少一个壳体(34，234.1，234.2)，所述两个平行的壁(108.2，108.3)中的一个壁支撑所述敏感面，所述第一驱动装置的所述固定电极中的全部或部分固定电极布置在所述壳体(34，134)中，而所述第一驱动装置的所述可移动电极中的全部或部分可移动电极位于所述壳体的所述壁(108.2，108.3)的内面(108.22，108.23)上。

2.根据权利要求1所述的压力传感器，其中，所述第一驱动装置(24.1，24.2，24.3，24.4，124，124.1，124.2，224.1，224.2，224.1'，224.2')为电容型，所述第一驱动装置由所述固定部分及所述可移动部分部分地支撑。

3.根据权利要求1或2所述的压力传感器，包括第二电容型驱动装置和第二控制装置(C2)，所述第二电容型驱动装置用于驱动所述可移动部分，所述第二电容型驱动装置由所述固定部分及所述可移动部分部分地支撑，所述第二控制装置用于控制所述第二电容型驱动装置以执行对所述敏感元件的微调。

4.根据权利要求3所述的压力传感器，其中，所述第二电容型驱动装置(24.1，24.2，24.3，24.4，124，124.1，124.2，224.1，224.2，224.1'n，224.2')包括至少两对电极，每对电极包括由所述固定部分支撑的固定电极和面对所述固定电极、由所述可移动部分支撑的可移动电极，所述固定电极中的全部或部分固定电极被布置在所述壳体中，而所述可移动电极中的全部或部分可移动电极位于所述壳体的所述壁的所述内面上。

5.根据权利要求3所述的压力传感器，其中，所述第一驱动装置和所述第二电容型驱动装置不同。

6.根据权利要求3所述的压力传感器，其中，所述第一驱动装置和所述第二电容型驱动装置相结合，并且给所述第一驱动装置和所述第二电容型驱动装置施加包括来自所述第一控制装置的AC分量和来自所述第二控制装置的DC分量的极化信号。

7.根据权利要求1或2所述的压力传感器，其中，所述可移动部分围绕垂直于所述传感器平面的轴相对于所述固定部分被可旋转地铰接。

8.根据权利要求3所述的压力传感器，其中，所述检测装置(16，216)从压阻型装置或电容型装置中选择。

9.根据权利要求8所述的压力传感器，其中，所述检测装置为电容型并且与所述第一驱动装置和/或所述第二电容型驱动装置不同。