[发明专利]高频电源装置及双阴极用电源

权利要求书

1.一种高频电源装置，从两个输出端输出相对于接地电位而互为反相的交流电压，其特征为，具备：

交流电源；

高频输出电路，其将上述交流电源的电源电压转换为预定频率并输出高频电压；和

分压电路，其将上述高频输出电路输出的高频电压分压为相对于接地电位而互为反相的交流电压，

上述分压电路，具备：

串联电路，其将上述高频输出电路的输出端间的中点作为接地电位，而将第1电容元件和第2电容元件这两个电容元件串联连接；和

切换电路，其对上述串联电路的至少任意一个电容元件的输出端侧或者是上述第1电容元件和上述第2电容元件之间的中点侧，切换连接上述高频输出电路的一个输出端及/或接地，而使上述两个电容元件相对于接地电位的两端电压的电压比例为可变，并切换高电压和低电压来输出。

2.根据权利要求1所述的高频电源装置，其特征在于，

上述切换电路，在上述串联电路的两个电容元件的至少任意一个电容元件的两端间，具备使上述高频输出电路的上述一个电容元件侧的输出端与接地电位之间短路或开放的开关电路，

上述开关电路的短路动作使上述高频输出电路的上述一个电容元件侧的输出端电压为零电压，并使另外一个电容元件侧的输出端电压为高频输出电路的输出电压，

上述开关电路的开放动作使上述高频输出电路的两个电容元件侧的输出端电压成为将高频输出电路的输出电压根据上述两个电容元件的电容而进行分压后的分压电压。

3.根据权利要求2所述的高频电源装置，其特征在于，

上述开关电路设置在上述高频输出电路的一个输出端和接地电位之间，或设置在上述高频输出电路的一个输出端和上述中点之间，或者与上述一个电容元件并联连接。

4.根据权利要求1所述的高频电源装置，其特征在于，

上述切换电路具备：切换开关，其对上述串联电路的两个电容元件的中点以及上述高频输出电路的上述一个电容元件侧的输出端切换连接接地电位，

在上述切换开关中，

对于上述串联电路的两个电容元件的中点的接地电位的切换使上述高频输出电路的上述一个电容元件侧的输出端电压为零电压，并使另外一个电容元件侧的输出端电压为高频输出电路的输出电压，

对于上述高频输出电路的上述一个电容元件侧的输出端的接地电位的切换使上述高频输出电路的两个电容元件侧的输出端电压成为将高频输出电路的输出电压根据上述两个电容元件的电容而进行分压后的分压电压。

5.根据权利要求1所述的高频电源装置，其特征在于，

上述切换电路具备：切换开关，其对上述串联电路的两个电容元件的任何一个电容元件串联连接第3电容元件，

在由上述切换开关所进行的切换中，

上述第3电容元件的串联连接使上述高频输出电路的另外一个电容元件侧的输出端电压的峰值高于上述一个电容元件侧的输出端电压的峰值，

上述第3电容元件的断开使上述高频输出电路的两个电容元件侧的输出端电压为将高频输出电路的输出电压根据上述两个电容元件的电容而进行分压后的分压电压。

6.根据权利要求1所述的高频电源装置，其特征在于，

上述切换电路具备：切换开关，其对上述串联电路的两个电容元件的任意一个电容元件并联连接第4电容元件，

在由上述切换开关所进行的切换中，

上述第4电容元件的并联连接使上述一个电容元件侧的输出端电压的峰值高于上述高频输出电路的另外一个电容元件侧的输出端电压的峰值，

上述第4电容元件的断开使上述高频输出电路的两个电容元件侧的输出端电压成为将高频输出电路的输出电压根据上述两个电容元件的电容而进行分压后的分压电压。

7.一种双阴极用电源，对等离子腔内的两个电极施加互为反相的交流电压，其特征为，具备：

权利要求1～6中的任一项所述的高频电源装置；和

控制电路，其对在等离子腔内而使等离子着火的点火动作状态和维持着火后的等离子的等离子维持状态的动作状态进行控制，

上述控制电路基于在上述电极中流动的电流控制上述切换电路，并改变点火动作状态的输出高电压的电压比例、和等离子维持状态的输出低电压的电压比例，

在上述点火动作状态中，提高上述两个电极中使等离子着火的电极的电压比例，

在上述等离子维持状态中，使上述两个电极的电压比例均等化，

在上述点火动作状态中，当使等离子着火的上述电极中流动的电流超过了设定值时，在上述切换电路中切换连接状态，并切换为等离子维持状态。