[发明专利]观察装置

权利要求书

1.一种观察装置，具备：对来自物体面的光进行感光的感光面、和使来自所述物体面的光在所述感光面成像的成像光学系统，所述观察装置的特征在于，

所述成像光学系统由等倍反射型成像光学系统构成，该等倍反射型成像光学系统包括：凹面主镜、凸面副镜以及引出平面镜，能够使来自所述物体面的光的光束按照所述凹面主镜、所述凸面副镜、所述凹面主镜的顺序反射后，经由所述引出平面镜而在所述感光面成像，

所述观察装置具备：

第一倾转单元，其能够使从所述物体面朝向所述凹面主镜的光的光轴与所述物体面的垂线所成的角度α变化；和

第二倾转单元，其能够使从所述引出平面镜朝向所述感光面的光的光轴与所述感光面的垂线所成的角度β变化。

2.根据权利要求1所述的观察装置，其特征在于，

具备控制单元，其控制所述第一倾转单元和所述第二倾转单元，

所述控制单元以使所述角度α与所述角度β相等的方式，控制所述第一倾转单元和所述第二倾转单元。

3.根据权利要求1或2所述的观察装置，其特征在于，

所述第一倾转单元能够使所述角度α在0度～70度的范围变化，

所述第二倾转单元能够使所述角度β在0度～70度的范围变化。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的观察装置，其特征在于，

所述观察装置是显微镜、光谱椭偏仪、缺陷检测装置或者反射率测定装置。