[发明专利]用于检测导电和/或可极化粒子的传感器、传感器系统、用于操作传感器的方法、此类型传感器的制造方法以及此类型传感器用途

权利要求书

1.一种用于检测导电和/或可极化粒子的传感器(10)，所述传感器(10)还用于检测烟尘粒子(30)的尺寸，

其特征在于，包括

-衬底(11)，

-第一电极层(12)，

-第二电极层(13)，其布置在所述衬底(11)和所述第一电极层(12)之间，

-至少一第一绝缘层(14)，其形成于所述第一电极层(12)和所述第二电极层(13)之间，

-至少一第三电极层(50)，其形成于所述第一绝缘层(14)和所述第一电极层(12)之间，以及

-至少一第二绝缘层(60)，其形成于所述第三电极层(50)和所述第一电极层(12)之间，

至少一个开口(15、16、70、71)，其分别形成于所述第一电极层(12)中、所述至少第二绝缘层(60)中、所述至少第三电极层(50)中和所述第一绝缘层(14)中，所述第一电极层(12)中的开口(15)、所述至少第二绝缘层(60)中的开口(71)、所述至少第三电极层(50)中的开口(70)和所述第一绝缘层(14)中的开口(16)彼此层叠布置，以便形成通向所述第二电极层(13)的至少一条通道(17、17'、17)；所述至少一条通道的底部(28)由第二电极层的一部分形成，使得所述粒子通过所述通道(17、17'、17)到达所述底部(28)，其中所述开口(15、16、70、71)的尺寸在所述第一电极层(12)朝向所述第二电极层(13)的方向上逐渐减小。

2.根据权利要求1所述的传感器(10)，

其特征在于

所述第一电极层(12)中的所述开口(15)形成于距所述第一电极层(12)的外围区一距离处，所述第一绝缘层(14)中的所述开口(16)形成于距所述第一绝缘层(14)的外围区一距离处，且所述至少第三电极层(50)中的所述开口(70)形成于距所述第三电极层(50)的外围区一距离处，且所述至少第二绝缘层(60)中的所述开口(71)形成于距所述第二绝缘层(60)的外围区一距离处。

3.根据权利要求1所述的传感器(10)，

其特征在于

所述第二电极层(13)间接连接到所述衬底(11)，或直接连接到所述衬底(11)。

4.根据权利要求1所述的传感器(10)，

其特征在于

所述至少一第一绝缘层(14)和/或所述至少第二绝缘层(60)的厚度(d)是0.1μm-50μm。

5.根据权利要求1所述的传感器(10)，

其特征在于

所述至少一第一绝缘层(14)和/或所述至少第二绝缘层(60)由选自以下各者组成的群组的材料形成：氧化铝(Al₂O₃)或二氧化硅(SiO₂)或氧化镁(MgO)或氮化硅(Si₂N₄)或陶瓷或玻璃或金属氧化物或其任何所需组合。

6.根据权利要求1所述的传感器(10)，

其特征在于

所述第一电极层(12)和/或所述第二电极层(13)和/或所述至少第三电极层(50)是由耐高温金属或耐高温合金形成。

7.根据权利要求1所述的传感器(10)，

其特征在于

所述第二电极层(13)是由具有比所述第一电极层(12)和/或所述至少第三电极层(50)的金属或合金高的抗蚀刻性更高的金属或合金形成。

8.根据权利要求1所述的传感器(10)，

其特征在于

至少一个覆盖层(21)形成于所述第一电极层(12)的背离所述第一绝缘层(14)的一侧(20)上、并橫向围封所述第一电极层(12)，所述至少一个覆盖层(21)为扩散屏障层，所述至少一个覆盖层(21)是由陶瓷和/或玻璃和/或金属氧化物或其任何组合形成。