[发明专利]半导体X射线检测器

权利要求书

1.一种适合于检测x射线的装置，其包括：

X射线吸收层，该X射线吸收层包括电极；

电子层，所述电子层包括：具有第一表面和第二表面的衬底、所述衬底中或所述衬底上的电子系统、所述第一表面上的电触点、通孔和所述第二表面上的再分布层(RDL)；

其中所述再分布层包括传输线；

其中所述通孔从所述第一表面延伸到所述第二表面；

其中所述电极电连接到所述电触点；

其中所述电子系统通过所述通孔电连接到所述电触点和所述传输线；

其中所述电子系统包括：

第一电压比较器，该第一电压比较器配置成将所述电极的电压与第一阈值比较；

第二电压比较器，该第二电压比较器配置成将所述电压与第二阈值比较；

计数器，该计数器配置成记录到达所述X射线吸收层的X射线光子的数目；

控制器；

其中所述控制器配置成从所述第一电压比较器确定所述电压的绝对值等于或超出所述第一阈值的绝对值的时间启动时间延迟；

其中所述控制器配置成在所述时间延迟期间启动所述第二电压比较器；

其中所述控制器配置成如果所述第二电压比较器确定所述电压的绝对值等于或超出所述第二阈值的绝对值则促使所述计数器记录的数目增加一。

2.如权利要求1所述的装置，其中所述衬底具有200μm或更少的厚度。

3.如权利要求1所述的装置，其进一步包括电连接到所述电极的电容器模组，其中所述电容器模组配置成从所述电极收集载流子。

4.如权利要求1所述的装置，其中所述控制器配置成在所述时间延迟的开始或终止时启动所述第二电压比较器。

5.如权利要求1所述的装置，其进一步包括电压表，其中所述控制器配置成促使所述电压表在所述时间延迟终止时测量电压。

6.如权利要求5所述的装置，其中所述控制器配置成基于在所述时间延迟终止时测量的电压的值来确定X射线光子能量。

7.如权利要求1所述的装置，其中所述控制器配置成使所述电极连接到电接地。

8.如权利要求1所述的装置，其中在所述时间延迟终止时电压的时间变化小于0.1％/ns。

9.如权利要求1所述的装置，其中在所述时间延迟终止时电压的时间变化是至少0.1％/ns。

10.如权利要求1所述的装置，其中所述X射线吸收层包括二极管。

11.如权利要求1所述的装置，其中所述X射线吸收层包括硅、锗、GaAs、CdTe、CdZnTe或其组合。

12.如权利要求1所述的装置，其中所述装置不包括闪烁体。

13.如权利要求1所述的装置，其中所述装置包括像素阵列。

14.一种系统，其包括如权利要求1所述的装置以及X射线源，其中所述系统组态成对人的胸部或腹部进行X射线放射摄影。

15.一种系统，其包括如权利要求1所述的装置以及X射线源，其中所述系统组态成对人的口腔进行X射线放射摄影。

16.一种货物扫描或非侵入式检查(NII)系统，其包括如权利要求1所述的装置以及X射线源，其中所述货物扫描或非侵入式检查(NII)系统组态成使用背散射X射线来形成图像。

17.一种货物扫描或非侵入式检查(NII)系统，其包括如权利要求1所述的装置以及X射线源，其中所述货物扫描或非侵入式检查(NII)系统组态成使用透射通过所检查物体的X射线来形成图像。