[发明专利]具有改进的灵敏度的MEMS麦克风

权利要求书

1.一种具有改进的灵敏度的MEMS麦克风（MM），包括：

- 具有可变电容的MEMS电容器（MCAP）；

- 被提供用于对MEMS电容器（MCAP）充电的充电电路（CC）；

- 被提供用于创建施加到充电电路（CC）的偏置电压V_bias的偏置电路（BC），

其中：

- 偏置电路（BC）包括闭环控制电路（CLCC），以及

- 偏置电压V_bias具有与MEMS麦克风整体的灵敏度匹配的温度依赖性。

2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其中，偏置电压V_bias具有分段的线性温度依赖性。

3.根据权利要求1或2所述的MEMS麦克风，其中闭环控制电路（CLCC）包括温度传感器（TS）。

4.根据权利要求3所述的MEMS麦克风，其中，温度传感器（TS）提供PTAT电压V_sen。

5.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其中闭环控制电路（CLCC）包括斜率发生器（SG），斜率发生器（SG）生成的斜率取决于分段的线性温度依赖性。

6.根据权利要求5所述的MEMS麦克风，其中斜率发生器（SG）包括比较器和并且包括多个的电阻器（R）和开关（S）串联连接。

7.根据权利要求5或6所述的MEMS麦克风，其中闭环控制电路（CLCC）包括斜率控制电路（SCC），其中斜率控制电路（SCC）将用于生成斜率的控制信号提供给斜率发生器（SG）。

8.根据权利要求7所述的MEMS麦克风，其中斜率控制电路（SCC）包括多个比较器。

9.根据权利要求1或2所述的MEMS麦克风，其中充电电路（CC）包括电荷泵。

10.根据权利要求8所述的MEMS麦克风，其中

- 斜率发生器（SG）生成线性电压V_sg，以及

- V_sg的斜率主要与如下成比例：在给定的温度下的麦克风的灵敏度的温度依赖性的负斜率- S（T）。

11.根据权利要求1或2所述的MEMS麦克风，其中偏置电压是从多个不依赖于温度的电压和多个依赖于温度的电压中选择的多个电压之和。

12.根据权利要求1或2所述的MEMS麦克风，其中偏置电路（BC）是MEMS麦克风（MM）的ASIC的一部分。

13.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，进一步包括用于存储线性参数的非易失性存储器元件，其中线性参数是根据分段的线性温度区段的斜率获得的。