[发明专利]处理液的脱气判定方法

权利要求书

1.一种处理液的脱气判定方法，其特征在于，

在进行用于处理在表面具有由槽、孔构成的精细图案的作业对象物的处理液所包含的气体的脱气的脱气处理槽内，浸渍用于判定该脱气处理槽内的上述处理液的脱气程度的在表面具备具有需要的凹凸的精细图案的模拟作业对象物，根据该模拟作业对象物的表面状态的时间变化，判定上述处理液的脱气程度。

2.根据权利要求1所述的处理液的脱气判定方法，其特征在于，

上述处理液是电镀的预处理用或者电镀处理用的液体。

3.根据权利要求1所述的处理液的脱气判定方法，其特征在于，

上述模拟作业对象物具有由多孔质材料构成的表面部。

4.根据权利要求3所述的处理液的脱气判定方法，其特征在于，

上述模拟作业对象物具有由发泡树脂材料构成的上述表面部。

5.根据权利要求3所述的处理液的脱气判定方法，其特征在于，

上述模拟作业对象物具有保持上述表面部的保持部件，在脱气处理槽内浸渍上述模拟作业对象物时，被上述保持部件保持的上述表面部与上述保持部件一起浸渍。

6.根据权利要求4所述的处理液的脱气判定方法，其特征在于，

构成上述表面部的发泡树脂材料的形成的微小的空隙的直径在0.01mm～2.0mm的范围。

7.根据权利要求1所述的处理液的脱气判定方法，其特征在于，

上述模拟作业对象物的表面状态的时间变化是测定从浸渍开始时到在该开始时形成在上述模拟作业对象物的表面的气泡从该表面消失为止的时间。

8.根据权利要求1所述的处理液的脱气判定方法，其特征在于，

关于上述模拟作业对象物的表面状态的时间变化，通过光学监视器测定或者通过目视观察上述模拟作业对象物的表面的气泡的变化。

9.根据权利要求1所述的处理液的脱气判定方法，其特征在于，

上述处理液所包含的上述气体是空气。

10.根据权利要求1所述的处理液的脱气判定方法，其特征在于，

在上述脱气处理槽的侧壁的一部分形成窗，经由上述窗判定上述上述模拟作业对象物的表面状态的时间变化。

11.一种处理液的脱气判定方法，其特征在于，

具有进行用于处理在表面具有由槽、孔构成的精细图案的作业对象物的处理液所包含的气体的脱气的脱气处理槽，设置在该脱气处理槽循环的处理液进一步循环的测定部，将表面具备具有需要的凹凸的精细图案的模拟作业对象物浸渍到在上述测定部内循环的上述处理液，并根据该模拟作业对象物的表面状态的时间变化，判定上述处理液的脱气程度。

12.根据权利要求11所述的处理液的脱气判定方法，其特征在于，

上述处理液是电镀的预处理用或者电镀处理用的液体。

13.根据权利要求11所述的处理液的脱气判定方法，其特征在于，

上述模拟作业对象物具有由多孔质材料构成的表面部。