[发明专利]谐振子以及谐振装置

权利要求书

1.一种谐振装置，其特征在于，具备：

谐振子；以及

将所述谐振子夹在之间并相互对置的上盖和下盖，

所述谐振子具有：

基部；

多个振动臂，具有压电体和将该压电体夹在之间并相互对置的1对电极层，一端与所述基部的前端连接，向远离所述基部的方向延伸；

保持部，被设置于所述基部以及所述振动臂的周围的至少一部分；以及

保持臂，一端与所述基部连接，另一端在与所述多个振动臂的所述一端相比更靠所述多个振动臂的另一端侧与所述保持部连接，

所述基部、所述多个振动臂以及所述保持臂具有基板以及层叠于该基板的、由热膨胀率与该基板不同的材料构成的温度特性修正层，并且由所述基板以及所述温度特性修正层一体地形成。

2.根据权利要求1所述的谐振装置，其特征在于，

所述保持部包含基板，该基板与所述基部、所述多个振动臂以及所述保持臂的所述基板一体地形成，

所述保持部的基板具有与所述下盖对置的第1面，

所述基部的基板具有与所述下盖对置的第2面，

所述保持臂的基板具有与所述下盖对置的第3面，

所述基部的所述第2面中的、同在该基部与所述前端对置的后端对应的部分与所述第1面不在同一平面上，

所述保持臂的所述第3面中的、与该保持臂的所述一端对应的部分与所述第1面不在同一平面上。

3.根据权利要求2所述的谐振装置，其特征在于，

所述多个振动臂的基板具有与所述下盖对置的第4面，

从所述第4面的与所述多个振动臂的所述另一端对应的部分到所述第1面为止的距离比从所述第2面的与所述基部的所述后端对应的部分到所述第1面为止的距离小。

4.根据权利要求3所述的谐振装置，其特征在于，

所述多个振动臂的所述第4面中的、与所述多个振动臂的所述一端对应的部分不在所述第1面上，

所述多个振动臂的所述第4面具有从与所述多个振动臂的所述一端对应的部分朝向与所述多个振动臂的另一端对应的部分而与所述第1面接近的部分。

5.根据权利要求3所述的谐振装置，其特征在于，

所述保持臂的所述第3面随着从与所述保持臂的所述另一端对应的部分朝向与所述保持臂的所述一端对应的部分而远离所述第1面。

6.根据权利要求2所述的谐振装置，其特征在于，

从所述基部的所述前端到所述基部的所述后端为止的长度比所述多个振动臂中的从所述一端到所述另一端为止的长度短。

7.根据权利要求2所述的谐振装置，其特征在于，

所述保持臂具有一端与所述基部的所述后端连接且沿远离该后端的方向延伸的子臂，

从所述基部的前端到所述子臂的另一端为止的长度比所述多个振动臂中的从所述一端到所述另一端为止的长度短。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的谐振装置，其特征在于，

所述基板由硅构成，

所述温度特性修正层由氧化硅构成。