[发明专利]水平多关节机器人

说明书

技术领域

本发明涉及一种具备三根连杆的水平多关节机器人的结构。

背景技术

以往以来，已知对作为半导体元件制造材料的半导体基板（以下有时简称为“基板”）进行元件形成等制程处理的基板处理设备。一般而言，基板处理设备中设置有制程（process）装置、配置于制程装置的前表面的基板移载装置等。基板移载装置具备基板移载机器人，该基板移载机器人进行基板对制程装置的装载及卸载、容纳于步骤间搬送用密闭载体的基板的收纳及取出等。例如，专利文献1中记载的基板移载装置（前端（frontend））具备深度浅且宽度宽的细长壳体、以及在壳体内在沿宽度方向（长边方向）延伸的轨道上行进的基板移载机器人。

基板移载装置的前表面设置有在宽度方向上排列的多个装载埠（load port），一台基板移载装置上可连结多个载体。为了藉由一个基板移载装置将多个（例如四个）载体连结而提高工作量（through put），基板移载装置的宽度变宽。另一方面，为了实现基板移载装置的小型化，基板移载装置的深度受到限制。因此，对基板移载机器人要求具有处于基板移载装置的受限深度范围内且在基板移载装置的宽度方向上较宽的作业区域。

为了响应上述要求，以往，如专利文献1那样构成为能够使机器人向基板移载装置的宽度方向行进，或在一台基板移载装置中具备多台机器人。

然而，若在基板移载装置的壳体内设置行进轨道及行进装置，则容易从这些行进轨道及行进装置产生灰尘，使保持洁净的壳体内容易受到污染。而且，若在一台基板移载装置中设置多台机器人，则原始成本及运转成本增加或装置大型化。因此，专利文献2中，藉由在水平多关节机器人中具备三个连杆，从而能避免其它方法中所产生的问题，且使机器人的接取位置向更远方扩展。

现有技术文献：

专利文献：

专利文献1：日本特开2002-76097号公报；

专利文献2：日本特开2011-119556号公报。

发明内容

发明要解决的问题：

专利文献2的水平多关节机器人中，从基台侧起第一连杆、第二连杆及第三连杆从下往上依该顺序配置。由此，第三连杆的梢端部（即，机械臂的手腕部）与二连杆的机械臂的手腕部相比，能够接取的范围向上方位移。因此，为了使三连杆的水平多关节机器人与现有的制程装置等外围设备对应，需要采取外围设备或机器人的高度调节的措施。

解决问题的手段：

因此，本发明的一形态的水平多关节机器人具备：

第一连杆；

基端部与上述第一连杆的梢端部的上下一方连结的第二连杆；

基端部与上述第二连杆的梢端部的上下另一方连结的第三连杆；以及

间隔件，上述间隔件配置于上述第一连杆及上述第三连杆中一方的连杆与上述第二连杆的连结部，以上述第三连杆的动作轨迹不与上述第一连杆发生干涉的形式，使上述第二连杆和上述一方的连杆上下隔开。

根据上述水平多关节机器人，与第一～第三连杆从下往上依序排列的情形相比，可降低第三连杆的梢端部的高度。

发明效果：

根据本发明，与第一～第三连杆从下往上依序排列的情形相比，可降低第三连杆的梢端部的高度。

附图说明

图1是用于对本发明的一实施形态的水平多关节机器人的使用形态进行说明的基板处理设备的俯视图；

图2是示出本发明的一实施形态的水平多关节机器人的概略结构的侧视图；

图3是示出水平多关节机器人的控制系统的结构的框图；

图4是示出变形例1的水平多关节机器人的概略结构的侧视图；

图5是示出变形例2的水平多关节机器人的概略结构的侧视图；

图6是示出变形例3的水平多关节机器人的概略结构的侧视图。

具体实施方式