[发明专利]光辐射设备和用于测量光辐射的方法

权利要求书

1.一种辐射测量设备(1)，带有

-样本区域(3)，

-照明单元(7)，用于照射能够定位在所述样本区域(3)中的样本(5)，和

-探测单元(35)，用于利用辐射探测器(47)探测由样本(5)发出的辐射(31)，

其中，照明单元(7)具有

-辐射源(9)，

-沿辐射方向布置在辐射源(9)之后、用于将辐射分解为其光谱成分(λ₁-λ₆)的第一色散元件(15)，

-沿辐射方向布置在第一色散元件(15)之后、用于选择光谱成分(λ₂)的第一微镜场(17)，和

-沿辐射方向布置在第一微镜场(17)之后、用于将被选择的光谱成分(λ₂)汇聚成共同的激励辐射(25)的第二色散元件(21)。

2.根据权利要求1所述的辐射测量设备(1)，其中，照明单元(7)具有至少一个聚焦单元(13、23)，所述聚焦单元沿辐射方向布置在辐射源(9)与第一色散元件(15)之间，和/或所述聚焦单元沿辐射方向布置在第二色散元件(21)与样本区域(3)之间。

3.根据权利要求1或2所述的辐射测量设备(1)，其中，探测单元(35)具有

-沿辐射方向布置在样本区域(3)之后、用于将发出的辐射(11)分解为其光谱成分(λ₂-λ₅)的第三色散元件(41)，

-沿辐射方向布置在第三色散元件(41)之后、用于选择单个的光谱成分(λ₃-λ₅)的第二微镜场(43)，和

-沿辐射方向布置在第二微镜场(43)之后的辐射探测器(47)。

4.根据权利要求3所述的辐射测量设备(1)，其中，探测单元(35)具有至少一个聚焦单元(39、45)，所述聚焦单元沿辐射方向布置在样本区域(3)与第三色散元件(41)之间，和/或所述聚焦单元沿辐射方向布置在第二微镜场(43)与辐射探测器(47)之间。

5.根据上述权利要求中任一项所述的辐射测量设备(1)，其中，辐射探测器(47)仅具有一个单独的传感器通道。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的辐射测量设备(1)，其中，辐射探测器(47)具有一维或二维的像素化的传感器场。

7.根据上述权利要求中任一项所述的辐射测量设备(1)，其中，照明单元(7)和/或探测单元(35)不具有光谱选择性的光学吸收过滤器。

8.一种用于利用根据权利要求1至7中任一项所述的辐射测量设备(1)测量光辐射的方法，其特征在于，借助第一微镜场(17)的单个微镜的激活和/或去激活来选择激励辐射(25)的光谱组成。

9.根据权利要求8所述的方法，其中，通过第一微镜场(17)选择辐射的光谱成分的单个的连续的子集，并且其余的辐射从辐射光路中射出，或者其中，通过第一微镜场(17)使辐射的光谱成分的单个的连续的子集从辐射光路中射出，并且其余的辐射被选择。

10.根据权利要求8所述的方法，其中，通过第一微镜场(17)选择辐射的不高于确定的波长阈值的所有短波的光谱成分，并且其余的辐射从辐射光路中射出，或者其中，通过第一微镜场(17)选择辐射的高于确定的波长阈值的所有长波的光谱成分，并且其余的辐射从辐射光路中射出。

11.根据权利要求8至10中任一项所述的方法，其中，借助布置在探测单元中的第二微镜场、借助单个的微镜的激活和/或去激活光谱选择由样本发出的辐射。

12.根据权利要求11所述的方法，其中，至少在辐射的波长光谱的子区域中，通过第一微镜场(17)选择的光谱成分的选择样式与通过第二微镜场(43)选择的光谱成分的选择样式彼此互补。

13.根据权利要求8至12中任一项所述的方法，其中，辐射测量设备(1)针对激励发射的辐射的不同波长区域和/或针对所发出的辐射的不同波长区域的切换在不移动宏观的光学部件的情况下进行。

14.根据权利要求8至13中任一项所述的方法，其中，对预定光谱成分的按比例选择通过在第一和/或第二微镜场(17、43)的微镜的激活状态与去激活状态之间的反复切换实现。

15.根据权利要求8至13中任一项所述的方法，其中，对预定光谱成分的按比例选择通过在二维的第一和/第二微镜场(17、43)的配属于相应光谱成分的行或列中选择预定比例的微镜实现。