[发明专利]照明装置和计测装置

权利要求书

1.一种照明装置，其特征在于，该照明装置具有：

光源部，其射出具有相干性的光；

偏振光分离部，其根据所入射的光的偏振方向对光路进行分离；以及

投影偏振光切换机构，其使从所述偏振光分离部射出并投影的光在透过了由所述偏振光分离部分离出的各个光路后的光的偏振光成分与透过了任意一个光路后的光的偏振光成分之间进行切换。

2.根据权利要求1所述的照明装置，其特征在于，

所述投影偏振光切换机构具有：

偏振光调整部，其配置在所述光源部与所述偏振光分离部之间，使从所述光源部射出的光的偏振光状态以能够调整的方式发生变化；以及

偏振片，其配置在所述偏振光分离部的后段，仅使特定方向的直线偏振光透过。

3.根据权利要求2所述的照明装置，其特征在于，

所述偏振光调整部具有：

1/2波片；以及

1/2波片旋转部，其构成为能够通过使该1/2波片旋转而对该1/2波片的光学轴的朝向进行调整。

4.根据权利要求3所述的照明装置，其特征在于，

所述偏振光调整部具有：

1/4波片，其配置在所述1/2波片的所述偏振光分离部侧；以及

1/4波片旋转部，其构成为能够通过使该1/4波片旋转而对该1/4波片的光学轴的朝向进行调整。

5.根据权利要求3所述的照明装置，其特征在于，

所述偏振光调整部在所述1/2波片的所述光源部侧具有相位调制部，该相位调制部控制由所述偏振光分离部对光路进行分离而得到的各个偏振光的相位差。

6.根据权利要求1所述的照明装置，其特征在于，

所述投影偏振光切换机构具有：

偏振光调整部，其配置在所述光源部与所述偏振光分离部之间，使从所述光源部射出的光的偏振光状态发生变化；以及

偏振板单元，其构成为配置在所述偏振光分离部的后段，能够对透过轴的朝向进行调整。

7.根据权利要求6所述的照明装置，其特征在于，

所述偏振光调整部具有：

1/2波片；

1/2波片旋转部，其构成为能够使该1/2波片旋转而调整该1/2波片的光学轴的朝向；以及

1/4波片，其配置在所述1/2波片的所述偏振光分离部侧。

8.根据权利要求1至7中的任意一项所述的照明装置，其特征在于，

所述照明装置具有偏振波保持波导，该偏振波保持波导配置在从所述光源部到所述偏振光分离部之间以使得偏振波保持方向与所述偏振光分离部所分离出的各个偏振方向相等。

9.一种计测装置，其特征在于，该计测装置具有：

权利要求1至8中的任意一项所述的照明装置；

摄像部，其拍摄由所述照明装置投影出干涉条纹而得到的被摄体的图像；以及

运算部，其根据所述照明装置与所述摄像部的位置关系以及由所述摄像部拍摄到的所述被摄体的图像的干涉条纹而导出被摄体的形状。