[发明专利]基板收纳容器

说明书

基板收纳容器具备形成有多个保护槽(225)的基板缘部保护部(222)，所述多个保护槽(225)具有比基板(W)的缘部的厚度更宽的开口(2231)从而能够插入基板(W)的缘部，并至少在利用盖体封闭容器主体开口部时被逐个插入多个基板(W)的缘部。基板(W)的缘部在利用盖体封闭容器主体开口部时，在基板(W)的缘部与形成有保护槽(225)的基板缘部保护部(222)的槽形成面(2221)之间形成空间，并在基板(W)的缘部不与槽形成面(2221)接触的非接触状态下插入保护槽(225)。

技术领域

本发明涉及对由半导体晶片等构成的基板进行收纳、保管、搬运、输送等时使用的基板收纳容器。

背景技术

作为用于收纳并搬运由半导体晶片构成的基板的基板收纳容器，以往已知具备容器主体和盖体的结构的收纳容器。

容器主体具有在一端部形成有容器主体开口部且另一端部被封闭的筒状的壁部。在容器主体内形成有基板收纳空间。基板收纳空间由壁部包围而形成，能够收纳多个基板。盖体能够相对于容器主体开口部拆装，并能够封闭容器主体开口部。

在作为盖体的一部分的、在封闭容器主体开口部时与基板收纳空间对置的部分上，设置有前保持件。前保持件能够在利用盖体封闭容器主体开口部时支承多个基板的缘部。另外，以与前保持件成对的方式在壁部设置后保持件。后保持件能够支承多个基板的缘部。后保持件通过在利用盖体封闭容器主体开口部时与前保持件协作并支承多个基板，从而在使相邻的基板彼此以规定的间隔分离且并排的状态下保持多个基板。后保持件具有向从基板收纳空间分离的方向凹陷的多个槽(例如参照专利文献1)。另外，已知如下结构：形成有槽的后保持件的部分能够弹性变形，但支承基板的后端部的后保持件的部分不能弹性变形(参照专利文献2)。

在上述公报记载的以往的基板收纳容器中，在利用盖体封闭容器主体开口部并搬运收纳于基板收纳空间的基板时，基板的端部始终与后保持件抵接。因此，在基板与后保持件之间容易产生颗粒。在利用基板收纳容器搬运基板时，在基板收纳容器受到冲击时，基板的端部相对于后保持件滑动，更容易产生颗粒。

因此，已知具有晶片保护槽的基板收纳容器，所述晶片保护槽用于在利用基板收纳容器搬运基板时，在基板收纳容器没有受到冲击时不与基板的端部抵接，并抑制颗粒的产生，在基板收纳容器受到冲击时保护基板(参照专利文献3)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第4338617号公报

专利文献2：日本特开2005-5525号公报

专利文献3：国际公开第2013/025629号公报

发明内容

发明要解决的问题

近年来，不仅要求抑制颗粒的产生，而且要求对于作用在基板收纳容器上的冲击，进一步保护基板。另外，对于抑制发生所谓交叉槽(cross slot)，也有较高的要求，所述交叉槽的发生是指由于作用在基板收纳容器上的冲击，由后保持件的规定位置支承的基板从该规定位置偏离，向与该规定位置相邻的位置移动并插入配置于该相邻的位置。

本发明的目的在于提供一种能抑制颗粒的产生，能对于作用在基板收纳容器上的冲击进行基板的保护，并抑制交叉槽的发生。

用于解决问题的手段