[发明专利]窄带化激光装置

权利要求书

1.一种窄带化激光装置，其进行多次突发振荡而输出脉冲激光，该多次突发振荡包括依次进行的第1突发振荡和第2突发振荡，

所述窄带化激光装置包括：

激光谐振器；

腔，其配置在所述激光谐振器之间；

配置于所述腔内的一对电极；

电源，其对所述一对电极施加脉冲电压；

波长选择元件，其配置于所述激光谐振器内；

谱带宽度可变部，其配置在所述激光谐振器内；及

控制部，其测量占空比和停止时间，根据所述占空比和所述停止时间控制所述谱带宽度可变部，其中，该占空比是开始所述第2突发振荡之前的规定期间中的占空比，该停止时间是从结束所述第1突发振荡时起到开始所述第2突发振荡为止的时间，所述规定期间是1-10分钟，

所述占空比是利用在每经过比所述规定期间短的规定时间时重新测量的第1占空比而更新的移动平均，

所述规定期间是包括所述第1突发振荡结束紧前时刻的期间。

2.根据权利要求1所述的窄带化激光装置，其中，

所述控制部根据在所述规定期间内测量的所述脉冲激光的脉冲数相对于所述脉冲激光的最大重复频率和所述规定期间的长度之积的比来测量所述占空比。

3.根据权利要求1所述的窄带化激光装置，其中，

所述窄带化激光装置还包括脉冲能量检测器，该脉冲能量检测器配置在从所述激光谐振器输出的脉冲激光的光路上，

所述控制部根据在所述规定期间内测量的所述脉冲激光的脉冲能量的累计值相对于所述脉冲激光的最大脉冲能量、最大重复频率和所述规定期间的长度之积的比来测量所述占空比。

4.根据权利要求1所述的窄带化激光装置，其中，

所述控制部构成为能够访问存储有所述占空比、所述停止时间和谱带宽度的变化之间的关系的介质，并根据从所述介质取得的所述占空比、所述停止时间和谱带宽度的变化三者之间的关系控制所述谱带宽度可变部。

5.根据权利要求4所述的窄带化激光装置，其中，

所述介质针对所述占空比的每个值，将所述停止时间和谱带宽度的变化之间的关系作为1次延迟的衰减函数而进行存储。

6.根据权利要求4所述的窄带化激光装置，其中，

所述窄带化激光装置还包括谱带宽度检测器，该谱带宽度检测器配置在从所述激光谐振器输出的脉冲激光的光路上，

所述控制部根据所述谱带宽度检测器的输出算出所述占空比、所述停止时间和所述谱带宽度的变化三者之间的关系而存储到所述介质中。

7.根据权利要求1所述的窄带化激光装置，其中，

所述谱带宽度可变部使在所述激光谐振器内往返的光的波面变化。

8.根据权利要求1所述的窄带化激光装置，其中，

所述窄带化激光装置还包括谱带宽度检测器，该谱带宽度检测器配置在从所述激光谐振器输出的脉冲激光的光路上，

所述控制部在所述第1突发振荡结束之后且在所述第2突发振荡开始之前，根据所述占空比和所述停止时间，对所述谱带宽度可变部进行所述控制，

所述控制部在所述第2突发振荡中，根据所述谱带宽度检测器的输出，对所述谱带宽度可变部进行第2控制。