[发明专利]光学干涉仪

说明书

技术领域

本发明涉及MEMS所构成的光学干涉仪。

背景技术

在专利文献1～12中公开有光学干涉仪的发明。另外，在其中的专利文献1、2、4～7中公开有由MEMS(Micro Electro-Mechanical System(微机电系统))构成的小型化容易的光学干涉仪的发明。

专利文献1所记载的光学干涉仪例如使用由硅构成的分支合波部，通过在该分支合波部的某一平面上使入射光的一部分反射并使剩余部分透过从而两分支成第一分支光和第二分支光，并且对这些第一分支光和第二分支光进行合波并作为合波光进行输出。即，在该光学干涉仪中，分支合波部的一平面作为将入射光两分支成第一分支光和第二分支光的分支面以及对第一分支光和第二分支光进行合波而成为合波光的合波面的双方而被共同地使用。另外，在该文献所记载的光学干涉仪中，因为第一分支光以及第二分支光中的一方的光在往返于分支合波部的内部的期间产生波长分散，所以另一方的光以往返于分散补偿用构件的内部的方式谋求波长分散的问题的解除。

专利文献8所记载的光学干涉仪例如使用由硅构成的分支合波部，通过在该分支合波部的第一主面上使入射光的一部分反射并使剩余部分透过从而两分支成第一分支光和第二分支光，在分支合波部的第二主面上对第一分支光和第二分支光进行合波并作为合波光进行输出。即，在该光学干涉仪中，将入射光两分支成第一分支光和第二分支光的分支面(第一主面)、和对第一分支光和第二分支光进行合波而成为合波光的合波面(第二主面)被作为不同的面。在该文献所记载的光学干涉仪中，因为第一分支光以及第二分支光分别只通过分支合波部的内部1次所以能够抑制波长分散的问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特表2013-504066号公报

专利文献2：日本专利第5204450号公报

专利文献3：日本特开2005-3572号公报

专利文献4：日本特开2008-102132号公报

专利文献5：日本特表2008-503732号公报

专利文献6：日本特开2010-170029号公报

专利文献7：日本特表2013-522600号公报

专利文献8：日本特开平3-77029号公报

专利文献9：日本特公平7-23856号公报

专利文献10：日本特开平7-139906号公报

专利文献11：日本特开昭60-11123号公报

专利文献12：日本特开昭61-19531号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

本发明人发现了，专利文献1等所记载的现有的光学干涉仪具有如以下所述的问题。

即，专利文献1所记载的光学干涉仪由于分支合波部(例如硅)与周围的介质(通常是空气)之间的边界面多，所以从分支到合波的期间的光的损失大。可以认为如果假设能够将反射防止膜形成于特定的边界面的话则能够减少光的损失，但是，因为由MEMS构成的光学干涉仪是小型的所以选择性地将反射防止膜形成于特定的边界面是困难的，并且减少光的损失是困难的。

专利文献8所记载的光学干涉仪如果与专利文献1所记载的光学干涉仪相比较的话则因为分支合波部与周围的介质之间的边界面少，所以从分支到合波的期间的光的损失小。但是，在专利文献8所记载的光学干涉仪中，干涉效率差。

包含其他专利文献所记载的技术的现有的技术在由MEMS构成的光学干涉仪中不能够实现光损失的减少以及干涉效率的改善。

本发明是为了解决上述问题而完成的，其目的在于，提供一种能够减小从分支到合波的期间的光的损失并且能够改善干涉效率的由MEMS构成的光学干涉仪。

解决问题的技术手段