[发明专利]离子迁移率分析用漂移管以及离子迁移率分析装置

权利要求书

1.一种离子迁移率分析用漂移管，是为了解决上述技术问题而完成的本发明的离子迁移率分析用漂移管，在内部形成通过加速电场使离子漂移的漂移区域，其特征在于，

通过在不具有封闭为筒状的部分的绝缘性板状部件的表面形成电阻体膜层而形成多个带电阻膜层部件，以所述电阻体膜层面向内周侧的方式将所述多个带电阻膜层部件组装成筒状而形成所述离子迁移率分析用漂移管。

2.如权利要求1所述的离子迁移率分析用漂移管，其特征在于，使用三个以上的、在平板状的绝缘性板状部件的至少一面的整体或者一部分形成电阻体膜层而成的所述带电阻膜层部件，该三个以上的所述带电阻膜层部件以分别构成一个面且两端敞开的方式组装为多边筒体状或者截头圆锥状。

3.如权利要求1所述的离子迁移率分析用漂移管，其特征在于，使用多个在弯曲状的绝缘性板状部件的至少内周面的整体或者一部分形成电阻体膜层而成的所述带电阻膜层部件，该多个所述带电阻膜层部件组装为圆筒状或者截头圆锥筒状，所述弯曲状是将圆筒体或截头圆锥体在包含其轴的平面上切断成多个而得到的形状。

4.一种离子迁移率分析装置，其特征在于，使用了如权利要求1～3的任一项所述的离子迁移率分析用漂移管，具备：

a)离子源，生成来自试样的离子；

b)电压产生部，为了在筒状的所述离子迁移率分析用漂移管的内部形成加速电场，而将规定的电压分别施加至该漂移管内周面的电阻体膜层的两端；

c)栅极，配设在所述离子迁移率分析用漂移管的离子入射侧的端部或者该漂移管内空间，使由所述离子源生成的离子仅在规定期间通过，并将该离子送入至在该漂移管内形成有所述加速电场的漂移区域，

对通过所述离子迁移率分析用漂移管内部的漂移区域而根据离子迁移率被分离的离子进行检测、或者进而将离子送入后段的分析检测部。