[发明专利]用于实时测试控制的集成测量和微机械定位的设备

说明书

本发明涉及一种测量装置(120)，例如用于测试的测量装置，包括：用于引起传感器(150)相对于目标(110)的移动的微机械定位致动器(130)；定位控制器(145)，该定位控制器(145)具有输出端，该输出端耦合到致动器(130)以用于控制所述移动，且该定位控制器具有输入端，该输入端耦合到传感器(150)以用于接收从传感器(150)到定位控制器(145)的传感器信号，并且该定位控制器(145)被布置成基于传感器信号来控制所述移动。测量装置(120)可以具有用于存储定位控制指令(300)的存储器。定位控制器(145)可以被布置成基于所述传感器信号和所述定位控制指令(300)来控制所述移动。

背景技术

涉及测量和控制来自微米级和纳米级目标的电学信号和光学信号的应用正变得越来越普遍。这可能涉及使用尖端尺寸从数十纳米开始的精细探测器，该精细探测器可以以纳米级分辨率在多个方向上相对于样本进行定位，以准确地到达目标。当前的技术使得难以或不可能实施需要快速控制探测器相对于目标的位置的测试布置，或者难以或不可能实施涉及许多同时测试的测试布置或它们的组合。

因此，需要一种使得能够更精确地控制测量探测器相对于目标的位置的电学测量装置和/或光学测量装置。

发明内容

现在已经发明了一种改进的技术设施，通过该技术设施缓解了上述的问题。本发明的各个方面包括设备、系统、方法和计算机程序产品，其特征在于独立权利要求中陈述的内容。在从属权利要求中公开了本发明的各个实施方式。

本申请涉及用于以微机械方式相对于目标定位测量和/或刺激探测器、执行测量和测试、刺激或操纵目标和/或以数字格式保存所测量信息的装置。该装置可以是集成装置，使得用于测量和/或控制微机械定位的电子器件被实施在物理上连续的单元中，例如被实施在机架内。本申请涉及能够进行测量如电学和/或光学测量和/或进行刺激和操纵和/或他们的各种组合的微机械定位和测量装置，并且该微机械定位和测量装置能够基于所测量的信息控制探测器的位置并且以数字格式获取、处理、保存和/或传送这种信息。定位设备可以接收来自外部控制单元诸如计算机的指令，以用于基于所测量的信号来执行定位。也就是说，可以接收从外部源到定位控制器的指令诸如脚本代码、计算机可执行(如二进制)代码和/或参数，使得定位控制器遵循至少部分地从在定位控制器外部的源接收定位逻辑。这种接收可以发生在测试的设置阶段或测试期间，以提供对条件变化的适应性。

提供了一种测量装置，该测量装置包括：微机械定位致动器，用于引起一个或多个探测器或传感器相对于目标移动；集成定位控制器，所述定位控制器具有输出端，所述输出端耦合到所述致动器以用于控制所述移动，所述定位控制器具有一个或多个传感器输入端，所述传感器输入端耦合到所述一个或多个传感器以用于接收从所述传感器到所述定位控制器的传感器信号，以及所述定位控制器被布置成基于所述传感器信号来控制所述移动。

测量装置可以包括用于暂时地或以非易失的方式存储定位控制指令的存储器，定位控制指令包括计算机可读指令，该计算机可读指令适合于供所述定位控制器用于基于所述传感器信号控制所述移动，并且定位控制器被布置成基于所述传感器信号和所述定位控制指令控制所述移动。测量装置可以包括指令输入端，该指令输入端用于接收从在所述测量装置外部的一个或多个源到所述存储器的所述定位控制指令。