[发明专利]金电镀溶液在审
申请号: | 201580083826.1 | 申请日: | 2015-12-18 |
公开(公告)号: | CN108350575A | 公开(公告)日: | 2018-07-31 |
发明(设计)人: | 段铃丽;陈晨;陶奇后;陈喆垚;叶丹尼斯国伟 | 申请(专利权)人: | 罗门哈斯电子材料有限责任公司;陶氏环球技术有限责任公司 |
主分类号: | C23C18/44 | 分类号: | C23C18/44 |
代理公司: | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人: | 徐舒 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电镀溶液 槽液稳定性 电镀性能 腈化合物 非电解 氰化物 展示 | ||
1.一种不含氰化物的非电解金电镀溶液,其包含一种或多种金离子源和有机化合物,所述有机化合物表示为式(1):
NC-R(1)
其中R选自直链或支链、取代或未取代的C1-C20烷基;取代或未取代的C6-C10芳基和-A-X-A’-Y;其中X选自O、N(R’)或S,Y选自-CN、酰胺、氨基和羧基,A和A'可以是相同或不同的并且是直链或支链的、取代或未取代的C1-C20亚烷基,并且R'是氢或取代或未取代的、直链或支链的C1-C20烷基;并且前提是相对于-CN的α碳原子不由羟基取代,并且当相对于-CN的α碳由胺基取代时,α碳的剩余氢被进一步取代。
2.根据权利要求1所述的金电镀溶液,其中所述有机化合物选自由式(2)到(14)表示的化合物,
其中n是1到10的整数。
3.根据权利要求1或2的金电镀溶液,其进一步包含亚硫酸钠。
4.根据权利要求1到3中任一项所述的金电镀溶液,其中所述金源选自氯化金、亚硫酸金和硫代亚硫酸金。
5.根据权利要求1到4中任一项所述的金电镀溶液,其中由式(1)表示的有机化合物的浓度是0.1到5g/L。
6.一种用于在制品上形成金膜的方法,其包含使所述制品与包含一种或多种金离子源和由式(1)表示的有机化合物的溶液接触的步骤。
7.一种在其金属表面上具有金膜的物品,其中所述金膜由权利要求1到5所述的金电镀溶液形成。
8.根据权利要求7所述的制品,其中所述金属表面选自由铜、镍、钴、银、钯和含铜、镍、钴、银和钯的金属合金组成的群组。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理