[发明专利]使用高温化学品和超声波装置清洗衬底的方法和装置

权利要求书

1.一种用来清洗衬底的高温化学溶液供液系统，包括：

溶液槽，容纳高温化学溶液；

缓冲槽，包括槽体、排气管和针阀，槽体容纳高温化学溶液，排气管的一端连接槽体，排气管的另一端连接溶液槽，针阀安装在排气管上，通过调节针阀以达到一流量使高温化学溶液内的气泡通过排气管排出缓冲槽；

第一泵，第一泵的进口连接溶液槽，第一泵的出口连接缓冲槽；以及

第二泵，第二泵的进口连接缓冲槽，第二泵的出口连接清洗衬底的清洗腔。

2.根据权利要求1所述的供液系统，其特征在于，进一步包括第三泵和加热器，第三泵连接溶液槽和加热器，加热器连接溶液槽。

3.根据权利要求1所述的供液系统，其特征在于，进一步包括温度计和控制器。

4.根据权利要求1所述的供液系统，其特征在于，溶液槽具有用来进去离子水的第一进口、用来进第一种化学液的第二进口以及用来进第二种化学液的第三进口。

5.根据权利要求4所述的供液系统，其特征在于，第一种化学液为双氧水，第二种化学液为氨水。

6.根据权利要求1所述的供液系统，其特征在于，缓冲槽还包括进液管和出液管，进液管和出液管插入靠近槽体底部的位置，排气管安装在缓冲槽的顶端，高温化学溶液内的气泡上升并通过排气管排出缓冲槽。

7.根据权利要求6所述的供液系统，其特征在于，缓冲槽还包括气泡分隔器以防止从进液管输出的气泡进入出液管。

8.根据权利要求1所述的供液系统，其特征在于，缓冲槽还包括进液管、出液管和颗粒过滤器，进液管插入靠近槽体底部的位置并位于颗粒过滤器的进口处，出液管安装在缓冲槽的顶部并位于颗粒过滤器的出口处，排气管安装在缓冲槽的顶部并位于颗粒过滤器的进口处。

9.根据权利要求1所述的供液系统，其特征在于，进一步包括设置在第二泵的出口和清洗腔之间的至少一个第二缓冲槽和至少一个第四泵。

10.根据权利要求1所述的供液系统，其特征在于，溶液槽的外表面包裹有隔热材料。

11.一种衬底清洗装置，包括：

溶液槽，容纳高温化学溶液；

缓冲槽，包括槽体、排气管和针阀，槽体容纳高温化学溶液，排气管的一端连接槽体，排气管的另一端连接溶液槽，针阀安装在排气管上，通过调节针阀以达到一流量使高温化学溶液内的气泡通过排气管排出缓冲槽；

第一泵，第一泵的进口连接溶液槽，第一泵的出口连接缓冲槽；

第二泵，第二泵的进口连接缓冲槽，第二泵的出口连接清洗衬底的清洗腔；

衬底卡盘，承载衬底；

旋转驱动装置，连接衬底卡盘并驱动衬底卡盘旋转；

喷嘴，向衬底表面喷洒高温化学溶液或去离子水；

超声波/兆声波装置，设置在靠近衬底的位置，衬底和超声波/兆声波装置之间具有间隙；

垂直驱动器，驱动超声波/兆声波装置上升或下降以改变衬底和超声波/兆声波装置之间的间隙。

12.一种衬底清洗方法，包括：

旋转衬底；

向衬底表面喷洒去离子水以预湿润衬底表面；

向衬底表面喷洒高温化学溶液以清洗衬底表面；

将衬底的转速降至低转速，将超声波/兆声波装置移动到靠近衬底表面的位置并与衬底表面之间具有间隙d，高温化学溶液完全填充间隙d；

打开超声波/兆声波装置并在第一清洗周期提供恒定或脉冲工作电源；

关闭超声波/兆声波装置，向衬底表面喷洒高温化学溶液或去离子水以释放超声波/兆声波装置产生的气泡，防止气泡聚集在衬底表面；

打开超声波/兆声波装置并在第二清洗周期提供恒定或脉冲工作电源；

关闭超声波/兆声波装置，向衬底表面喷洒化学药液或去离子水；

干燥衬底。