[发明专利]基板保持装置

权利要求书

1.一种基板保持装置，包括：

杯形夹盘，包括基部，基部具有底壁、侧壁的外表面和侧壁的内表面，基部的侧壁的内表面倾斜向上突出形成支撑基板正面边缘的支撑部；

密封件，包括底部、外壁和内壁，内壁设有唇形密封部，密封件的底部包裹杯形夹盘基部的底壁，密封件的外壁包裹杯形夹盘基部侧壁的外表面，密封件的唇形密封部包裹杯形夹盘的支撑部以密封基板正面的边缘；

夹盘板；以及

竖直驱动装置，与夹盘板连接，竖直驱动装置驱动夹盘板下降或上升，以使夹盘板压在基板的背面来夹持基板或使夹盘板离开基板的背面。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，杯形夹盘基部的上端向外延伸形成边沿，密封件外壁的顶端设有突起，一固定环固定在杯形夹盘边沿的底部，该固定环挤压密封件的突起以将密封件和杯形夹盘固定在一起。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，密封件的厚度为0.1mm-2mm。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，密封件的厚度为0.3mm-1mm。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，密封件由橡胶制成。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，制造密封件的材料为氟橡胶、硅橡胶、丁腈橡胶。

7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，制造密封件的材料的硬度为硬度计检测出的20-70。

8.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，制造密封件的材料具有疏水性。

9.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，密封件的内壁相对于水平面倾斜有一定角度α，角度α小于90°。

10.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，杯形夹盘基部的下端设有凹槽，与唇形密封部相连的密封件的内壁的末端延伸出固定部，固定部位于凹槽内。

11.根据权利要求10所述的装置，其特征在于，进一步包括用于传导电流的接触环，接触环包括主体部、多个第一指形部和多个第二指形部，主体部固定在杯形夹盘基部的下端，多个第一指形部接触基板正面的边缘，多个第二指形部紧压密封件的固定部。

12.根据权利要求11所述的装置，其特征在于，杯形夹盘基部的下端是可拆卸的，基部下端的底部设有多个第一螺孔，接触环的主体部设有多个第二螺孔，多个螺丝穿过第一螺孔和第二螺孔以将接触环、基部的下端和基部固定在一起。

13.根据权利要求11所述的装置，其特征在于，第一指形部和第二指形部交替设置。

14.根据权利要求10所述的装置，其特征在于，进一步包括用来将密封件的固定部紧压在杯形夹盘凹槽内的压板。

15.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，进一步包括用于传导电流的导电环，导电环包括多个与基板正面的边缘接触的指形部。

16.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，与基板背面接触的夹盘板的表面设有多个狭槽。

17.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，进一步包括设置在夹盘板和杯形夹盘之间的O型密封圈。

18.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，进一步包括角度控制驱动装置，当夹盘板和杯形夹盘固定基板进行工艺加工时，角度控制驱动装置驱动夹盘板和杯形夹盘倾斜有一定角度。

19.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，进一步包括旋转驱动装置，当夹盘板和杯形夹盘固定基板进行工艺加工时，旋转驱动装置驱动夹盘板和杯形夹盘旋转。