[发明专利]基板保持装置有效
申请号: | 201580085077.6 | 申请日: | 2015-12-04 |
公开(公告)号: | CN108291325B | 公开(公告)日: | 2019-12-20 |
发明(设计)人: | 王晖;贾照伟;杨宏超;吴均;王坚 | 申请(专利权)人: | 盛美半导体设备(上海)有限公司 |
主分类号: | C25D17/06 | 分类号: | C25D17/06 |
代理公司: | 31100 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 陆嘉 |
地址: | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 夹盘 杯形 密封件 基板保持装置 唇形密封 内壁 外壁 竖直驱动装置 电解液溶液 密封基板 侧壁 底壁 基板 基部 背面 支撑 | ||
1.一种基板保持装置,包括:
杯形夹盘,包括基部,基部具有底壁、侧壁的外表面和侧壁的内表面,基部的侧壁的内表面倾斜向上突出形成支撑基板正面边缘的支撑部;
密封件,包括底部、外壁和内壁,内壁设有唇形密封部,密封件的底部包裹杯形夹盘基部的底壁,密封件的外壁包裹杯形夹盘基部侧壁的外表面,密封件的唇形密封部包裹杯形夹盘的支撑部以密封基板正面的边缘;
夹盘板;以及
竖直驱动装置,与夹盘板连接,竖直驱动装置驱动夹盘板下降或上升,以使夹盘板压在基板的背面来夹持基板或使夹盘板离开基板的背面。
2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,杯形夹盘基部的上端向外延伸形成边沿,密封件外壁的顶端设有突起,一固定环固定在杯形夹盘边沿的底部,该固定环挤压密封件的突起以将密封件和杯形夹盘固定在一起。
3.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,密封件的厚度为0.1mm-2mm。
4.根据权利要求3所述的装置,其特征在于,密封件的厚度为0.3mm-1mm。
5.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,密封件由橡胶制成。
6.根据权利要求5所述的装置,其特征在于,制造密封件的材料为氟橡胶、硅橡胶、丁腈橡胶。
7.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,制造密封件的材料的硬度为硬度计检测出的20-70。
8.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,制造密封件的材料具有疏水性。
9.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,密封件的内壁相对于水平面倾斜有一定角度α,角度α小于90°。
10.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,杯形夹盘基部的下端设有凹槽,与唇形密封部相连的密封件的内壁的末端延伸出固定部,固定部位于凹槽内。
11.根据权利要求10所述的装置,其特征在于,进一步包括用于传导电流的接触环,接触环包括主体部、多个第一指形部和多个第二指形部,主体部固定在杯形夹盘基部的下端,多个第一指形部接触基板正面的边缘,多个第二指形部紧压密封件的固定部。
12.根据权利要求11所述的装置,其特征在于,杯形夹盘基部的下端是可拆卸的,基部下端的底部设有多个第一螺孔,接触环的主体部设有多个第二螺孔,多个螺丝穿过第一螺孔和第二螺孔以将接触环、基部的下端和基部固定在一起。
13.根据权利要求11所述的装置,其特征在于,第一指形部和第二指形部交替设置。
14.根据权利要求10所述的装置,其特征在于,进一步包括用来将密封件的固定部紧压在杯形夹盘凹槽内的压板。
15.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,进一步包括用于传导电流的导电环,导电环包括多个与基板正面的边缘接触的指形部。
16.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,与基板背面接触的夹盘板的表面设有多个狭槽。
17.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,进一步包括设置在夹盘板和杯形夹盘之间的O型密封圈。
18.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,进一步包括角度控制驱动装置,当夹盘板和杯形夹盘固定基板进行工艺加工时,角度控制驱动装置驱动夹盘板和杯形夹盘倾斜有一定角度。
19.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,进一步包括旋转驱动装置,当夹盘板和杯形夹盘固定基板进行工艺加工时,旋转驱动装置驱动夹盘板和杯形夹盘旋转。
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