[发明专利]带电粒子装置、结构物的制造方法及结构物制造系统

权利要求书

1.一种带电粒子装置，其特征在于，具有以下部件：

发射电子的电子发射部；

被从所述电子发射部发射的电子照射的电子被照射部；

可进行内部排气并且内部压力比外部压力低，将所述电子被照射部收纳在内部的收纳部；

电线收纳部，由电介质材料形成，用于收纳对所述收纳部中收纳的所述电子被照射部进行通电的电线，从所述收纳部的外部通过所述收纳部中设置的插入部插入电线收纳部；

插入部侧突出部，属于所述收纳部的内壁，环绕所述电线收纳部，从所述插入部的附近向所述收纳部的内部突出。

2.根据权利要求1中所述的带电粒子装置，其特征在于，所述插入部侧突出部的前端部的截面形状为球面形。

3.根据权利要求1中所述的带电粒子装置，其特征在于，还具有使所述电子被照射部旋转的旋转部件，所述插入部侧突出部同时环绕所述电线收纳部和所述旋转部件。

4.根据权利要求1中所述的带电粒子装置，其特征在于，还具有环绕所述电线收纳部，从所述电子被照射部的附近向所述收纳部的内壁突出的电子被照射部侧突出部。

5.根据权利要求1～4中的任意一项中所述的带电粒子装置，其特征在于，所述带电粒子装置为X射线发生装置，所述电子被照射部通过被所述电子照射，射出X射线。

6.一种结构物的制造方法，其特征在于，具有以下工序：

制作有关结构物形状的设计信息的设计工序；

根据所述设计信息对所述结构物进行制造的成型工序；

使用权利要求5中所述的带电粒子装置对制造的所述结构物的形状进行测量的测量工序；

对所述测量工序中得到的形状信息与所述设计信息进行比较的检查工序。

7.根据权利要求6中所述的结构物的制造方法，其特征在于，具有根据所述检查工序的比较结果来执行，对所述结构物实施再加工的修复工序。

8.根据权利要求7中所述的结构物的制造方法，其特征在于，所述修复工序为重新实施所述成型工序的工序。

9.一种结构物制造系统，其特征在于，包括以下装置：

制作有关结构物形状的设计信息的设计装置；

根据所述设计信息对所述结构物进行制造的成型装置；

对制造的所述结构物的形状进行测量的权利要求5中所述的带电粒子装置；

对通过使用了所述X射线发生装置的X射线装置得到的有关所述结构物形状的形状信息与所述设计信息进行比较的检查装置。