[发明专利]真空镀膜前处理加工方法有效

专利信息
申请号: 201610003478.9 申请日: 2016-01-04
公开(公告)号: CN105586567B 公开(公告)日: 2019-05-14
发明(设计)人: 徐金根;郝立鹏 申请(专利权)人: 科森科技东台有限公司
主分类号: C23C14/02 分类号: C23C14/02
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 巩克栋;侯潇潇
地址: 224200 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 真空镀膜 处理 加工 方法
【说明书】:

发明公开了一种真空镀膜前处理加工方法,包括:a、高亮镜面在精抛后通过超声波除胶处理;b、对步骤a中除胶处理后的高亮度镜面进行超声波除蜡处理;c、对步骤b中除蜡处理后的高亮度镜面进行表面活化处理;d、对步骤c中表面活化处理后的高亮度镜面进行超声波调和处理;e、对步骤d中调和处理后的高亮度镜面进行超声波除油处理;f、对步骤e中除油处理后的高亮度镜面进行超声波中和处理;g、对步骤f中中和处理后的高亮度镜面采用纯水进行漂洗;h、对步骤g中漂洗后的高亮度镜面进行烘干处理;该能够有效去除精抛后产生的纳米氧化膜,工序简单,有利于后续物理气相沉积处理。

技术领域

本发明涉及抛光技术领域,尤其涉及一种真空镀膜前处理加工方法。

背景技术

在金属表面处理高亮镜面精抛后会存在纳米氧化膜,如运用在物理气相沉积技术中,这种纳米氧化膜会给物理气相沉积的膜层结合力造成很大的影响,甚至会直接导致脱落,存在极大的弊端。

发明内容

本发明的目的在于提出一种真空镀膜前处理加工方法,能够有效去除精抛后产生的纳米氧化膜,工序简单,有利于后续物理气相沉积处理。

为达此目的,本发明采用以下技术方案:

真空镀膜前处理加工方法,包括如下步骤:

a、除胶超声:高亮镜面在精抛后通过超声波除胶处理;

b、除腊超声:对步骤a中除胶处理后的高亮度镜面进行超声波除蜡处理;

c、表面活化:对步骤b中除蜡处理后的高亮度镜面进行表面活化处理;

d、调和超声:对步骤c中表面活化处理后的高亮度镜面进行超声波调和处理;

e、除油超声:对步骤d中调和处理后的高亮度镜面进行超声波除油处理;

f、中和超声:对步骤e中除油处理后的高亮度镜面进行超声波中和处理;

g、纯水漂洗:对步骤f中中和处理后的高亮度镜面采用纯水进行漂洗;

h、烘干:对步骤g中漂洗后的高亮度镜面进行烘干处理。

作为一种优选,在步骤a和步骤b之间、步骤b与步骤c之间、步骤c与步骤d之间、步骤d与步骤e之间、步骤e与步骤f之间、步骤f与步骤g之间均包括:

喷淋:对前一步骤中处理后的高亮度镜面进行喷淋处理,喷淋的补水量为5L/min。

作为一种优选,步骤a中采用的环境参数如下:

超声波为4A;药水为中性除胶剂;药水浓度为8%~10%;药水补水量为3.5L/24H;温度为30±2℃;时间240±10S;药水更换周期14天;优选的,药水浓度可以为8%、8.5%、9%、9.5%、10%;温度可以为28℃、29℃、30℃、31℃、32℃;时间可以为230S、235S、240S、245S、250S;

优选的,所述中性除胶剂,按重量份计,包含以下原料:

20~35份的2-氨基-2-乙基-1,3丙二醇、10~20份的烷基酚聚氧乙烯醚、5~10份的2甲基2氨基丙醇、25~35份的丙二醇单乙醚。

其中,2-氨基-2-乙基-1,3丙二醇可以为20份、21份、22份、23份、24份、25份、26份、27份、28份、29份、30份、31份、32份、33份、34份、35份;烷基酚聚氧乙烯醚可以为10份、11份、12份、13份、14份、15份、16份、17份、18份、19份20份;2甲基2氨基丙醇可以为5份、6份、7份、8份、9份、10份;丙二醇单乙醚可以为25份、26份、27份、28份、29份、30份、31份、32份、33份、34份、35份。

作为一种优选,步骤b中采用的环境参数如下:

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