[发明专利]一种基板测试设备有效
| 申请号： | 201610004799.0 | 申请日： | 2016-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN105486239B | 公开（公告）日： | 2018-07-10 |
| 发明（设计）人： | 谢少华;刘祖宏;訾玉宝;侯智;叶成枝 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 测线 光强检测装置 基板 基板测试设备 测试误差 产品品质 对位装置 图形位置 支撑平台 图形线 减小 基板检测设备 采集基板 承载基板 检测数据 检测装置 控制装置 信号连接 控制光 线宽 移动 | ||
1.一种基板测试设备，其特征在于，包括：
用于承载基板的支撑平台；
用于采集基板上待测线宽图形位置信息的对位装置；
朝向支撑平台设置的光强检测装置；
控制装置，分别与对位装置和光强检测装置信号连接，用于根据待测线宽图形位置信息，控制光强检测装置移动经过待测线宽图形的上方；根据光强检测装置的检测数据，确定光强检测装置经过待测线宽图形的时间；根据所述经过待测线宽图形的时间，确定待测线宽图形的线宽；
所述基板测试设备还包括位于支撑平台上的参照基板，所述参照基板具有标准线宽图形；
所述控制装置，具体用于根据以下公式，确定待测图形的线宽：
T/L＝t/x
其中，T为光强检测装置经过标准线宽图形的时间，L为标准线宽图形的标准线宽，t为光强检测装置经过待测线宽图形的时间，x为待测线宽图形的线宽。
2.如权利要求1所述的基板测试设备，其特征在于，所述对位装置包括沿第一方向设置的导轨、沿第二方向设置并可沿所述导轨移动的驱动杆以及可沿驱动杆移动的对位镜头。
3.如权利要求2所述的基板测试设备，其特征在于，所述光强检测装置滑动装配于所述驱动杆。
4.如权利要求1所述的基板测试设备，其特征在于，所述控制装置，具体用于根据光强检测装置经过待测线宽图形的时间，以及存储的光强检测装置经过标准线宽图形的时间，确定待测线宽图形的线宽。
5.如权利要求1所述的基板测试设备，其特征在于，所述光强检测装置包括光发射装置以及光接收装置。
6.如权利要求5所述的基板测试设备，其特征在于，所述光发射装置为红外光发射装置。
7.如权利要求5或6所述的基板测试设备，其特征在于，所述光发射装置发射的光线与竖直方向成锐角。
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