[发明专利]撕膜装置以及撕膜方法有效

专利信息
申请号: 201610005422.7 申请日: 2016-01-05
公开(公告)号: CN105655487B 公开(公告)日: 2018-10-16
发明(设计)人: 彭锐;贾文斌;王欣欣;叶志杰;黄磊 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司
主分类号: H01L51/00 分类号: H01L51/00;H01L51/56
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 彭久云
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 装置 以及 方法
【权利要求书】:

1.一种撕膜装置,包括:

承载台,其包括承载面,所述承载面被配置来承载多层薄膜,所述多层薄膜包括待撕薄膜,所述待撕薄膜为所述多层薄膜中远离所述承载面的薄膜;

吸附构件,其设置于所述承载台之上且包括多个第一吸附孔并被配置来吸附所述待撕薄膜,所述吸附构件是绕轴旋转的吸附构件;

至少两个气路,所述多个第一吸附孔被划分为至少两个组,所述每组第一吸附孔与一个所述气路连接,所述气路被配置来为所述每组第一吸附孔提供负压,在沿所述吸附构件的轴向方向上,属于一个组的所述第一吸附孔与属于另一个组的所述第一吸附孔交替设置。

2.根据权利要求1所述的撕膜装置,其中,所述承载面包括多个第二吸附孔并被配置来吸附所述多层薄膜中远离所述待撕薄膜的表面。

3.根据权利要求1所述的撕膜装置,其中,所述吸附构件吸附所述待撕薄膜并将所述待撕薄膜缠绕在其表面上。

4.根据权利要求1-3任一项所述的撕膜装置,其中,所述吸附构件的轴具有内部空心,所述内部空心内设置用以形成所述气路的管路。

5.根据权利要求1-3任一项所述的撕膜装置,其中,所述多个第一吸附孔分散分布于所述吸附构件上。

6.根据权利要求1-3任一项所述的撕膜装置,其中,所述吸附构件的表面包括缓冲层,所述缓冲层的材质包括塑料或橡胶。

7.根据权利要求1-3任一项所述的撕膜装置,其中,所述吸附构件的外形为圆柱体、椭圆柱体或规则多面体。

8.根据权利要求1-3任一项所述的撕膜装置,其中,所述吸附构件通过纵向驱动构件固定在机械臂上,所述纵向驱动构件被配置来带动所述吸附构件沿纵向移动;所述机械臂设置在横向导轨上,所述机械臂与横向驱动构件相连,所述横向驱动构件被配置来使所述机械臂沿所述横向导轨移动,所述横向平行于所述承载台,所述纵向垂直于所述承载台。

9.根据权利要求8所述的撕膜装置,其中,所述横向驱动构件驱动所述机械臂使其带动所述纵向驱动构件沿横向运动,并且所述纵向驱动构件带动所述吸附构件沿所述纵向移动,以进行撕膜。

10.根据权利要求1-3任一项所述的撕膜装置,其中,所述第一吸附孔从所述绕轴旋转的吸附构件的外表面向其内部延伸。

11.根据权利要求1-3任一项所述的撕膜装置,其中,所述绕轴旋转的吸附构件是压辊。

12.一种根据权利要求1所述的撕膜装置的撕膜方法,包括:

在所述承载面上承载所述多层薄膜;

利用所述吸附构件提供真空吸附的方式吸附所述待撕薄膜,并将所述待撕薄膜与所述多层薄膜中位于所述待撕薄膜之下的膜层分离。

13.根据权利要求12所述的撕膜方法,其中,将所述多层薄膜中远离所述待撕薄膜的表面采用真空吸附的方式吸附在所述承载台的承载面上,所述待撕薄膜受到的真空吸附力为F1,所述多层薄膜中远离所述待撕薄膜的表面受到的真空吸附力为F2,F2大于F1。

14.根据权利要求13所述的撕膜方法,其中,吸附所述待撕薄膜的真空度为P1,吸附所述多层薄膜中远离所述待撕薄膜的表面的真空度为P2,P2大于P1。

15.根据权利要求12所述的撕膜方法,其中,所述吸附构件吸附所述待撕薄膜并将所述待撕薄膜缠绕在其表面上。

16.根据权利要求15所述的撕膜方法,其中,所述绕轴旋转的吸附构件绕轴滚动一周之前,吸附所述待撕薄膜的真空度从起始真空度开始保持不变、逐渐减小或逐渐增大。

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